智能氣路系統(tǒng)功能模塊

根據(jù)不同研究方向需求不同，智能氣路系統(tǒng)可以實現(xiàn)以下基本功能模塊：

氣體流量單獨控制：用戶可通過屏幕上顯示的氣路原理圖直接設(shè)定內(nèi)部質(zhì)量流量控制器（MFC）流量，設(shè)定范圍為2%-100%F.S.

電磁截止閥單獨控制：用戶可通過屏幕上顯示的氣路原理圖直接控制電磁截止閥關(guān)斷/開啟

自動分段進氣功能：按照客戶給出的流量設(shè)定值及時間長度自動完成分段進氣，客戶可針對流量實現(xiàn)二次編程，自動進氣

壓力報警和處理：配合壓力傳感器及電磁閥的聯(lián)動，用戶可自定義設(shè)定壓差上限與下限，實現(xiàn)壓差上限下限報警或關(guān)斷功能，保護實驗結(jié)果和氣路系統(tǒng)

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系統(tǒng)整體要求

實驗室氣體采用集中供氣方式，由實驗室外專用供氣區(qū)域用管路引進。除了潔凈空氣由空氣壓縮系統(tǒng)直接產(chǎn)生外，其余氣體都是采用高壓氣瓶供氣。每種氣體都要有主供和備供氣瓶，并安裝自動切換面板進行供氣控制，保證不間斷供氣。另外主要的控制閥門和減壓閥門都應安裝在實驗室外。

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氣體管路要求

壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨的閥門隔離，以方便對過濾裝置進行維修。高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時才可以使用接頭配件。每個實驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。