當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，抽空腔的進(jìn)氣部分容積擴(kuò)張，將氣體通過(guò)吸入口吸入。氣體經(jīng)過(guò)污物防護(hù)罩，打開(kāi)的防返油閥（7/54）進(jìn)入泵腔。當(dāng)轉(zhuǎn)子進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)，葉片從吸入口將泵腔部分分開(kāi)。公司主要經(jīng)營(yíng)：進(jìn)口德國(guó)BECKER貝克、德國(guó)BUSCH普旭、法國(guó)LEYBOLD萊寶、德國(guó)RIETSCHLE偉力(里其樂(lè))、英國(guó)愛(ài)德華,韓國(guó)DOOVAC斗一，日本ORION好利旺。這部分泵腔體積減少，氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓力時(shí)經(jīng)過(guò)排氣閥（6/20）從泵腔中排出。

油被注入泵腔起密封，潤(rùn)滑和冷卻泵的作用。

壓縮氣體夾帶的油在油箱（6/27）內(nèi)由于折轉(zhuǎn)而被初步捕集。然后在出口過(guò)濾器元件（6/29）中被徹底過(guò)濾。于是，排氣中油含量下降至低于可見(jiàn)程度（捕集率大于99%）。

在出口過(guò)濾器中捕集的油經(jīng)過(guò)回油管（6/11）返回到進(jìn)氣室。為了防止大氣壓下的氣體從油槽流入進(jìn)口，回油管由一個(gè)浮球閥控制。

油循環(huán)是由油箱（壓力高于或等于大氣壓）和泵的進(jìn)氣口（壓力低于大氣壓）之間存在的壓差維持的。一部分油取自油槽（6/27），經(jīng)過(guò)油過(guò)濾器（6/25）流到轉(zhuǎn)子的軸承支撐點(diǎn)和泵腔。兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過(guò)程。注入泵內(nèi)油的另一部分不會(huì)通過(guò)油過(guò)濾器。所以，如果油過(guò)濾器偶然完全堵塞，通過(guò)具有足夠油量的第二線路確保潤(rùn)滑，從而保證泵良好機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)。

然而在這種情況下，泵達(dá)不到規(guī)定的極限壓力。一般來(lái)說(shuō)這表明油臟了或油過(guò)濾器被堵塞了。

在電機(jī)軸上旋轉(zhuǎn)的風(fēng)扇產(chǎn)生冷卻所必須的空氣流，來(lái)通過(guò)冷卻盤(pán)管中的潤(rùn)滑。

根據(jù)需求，可訂購(gòu)帶氣鎮(zhèn)裝置（6/14）的泵（USA型號(hào)的泵氣鎮(zhèn)閥為標(biāo)準(zhǔn)配置）。

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真空泵排氣閥工作不正常，當(dāng)然會(huì)影響到真空泵的真空度。所以真空泵維修中排氣閥門(mén)的拆修顯得至關(guān)重要。    真空泵拆修時(shí)，先把泵油放掉一部分，使油面下降到低于油窗。拆開(kāi)油窗，取下閥片（或閥碗，球珠），檢查它們是否完好，平整，有彈性否，裝配是否牢固，合適，彈子蓋穿孔否。通常閥片應(yīng)當(dāng)能很平整地蓋住排氣孔。（5）較高的閃點(diǎn)：主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分，以免影響油品的飽和蒸汽壓。大泵的閥片多為鋼片，是用彈簧壓緊的，應(yīng)檢查閥片有無(wú)損壞，彈簧是否過(guò)硬致使閥片難以跳動(dòng)。耐油橡膠閥片類則要檢查它們是否變形等。    在真空泵維修故障時(shí)，對(duì)真空泵進(jìn)行狀況監(jiān)護(hù)，既能延長(zhǎng)了真空泵運(yùn)行周期，又能妥善安排維修內(nèi)容，提，節(jié)省人力財(cái)力和時(shí)間，是先進(jìn)的維修方式。而要實(shí)行此種維修方式，就要建立在及時(shí)有效的故障診斷技術(shù)的基礎(chǔ)上，研究真空泵故障診斷就是要達(dá)到實(shí)施預(yù)防真空泵維修。對(duì)真空泵排氣閥門(mén)進(jìn)行拆修時(shí)，要根據(jù)上述步驟來(lái)進(jìn)行拆修，也可以送入專業(yè)的真空泵維修廠家進(jìn)行拆修，但是不能擅自拆修，否則可能會(huì)損壞設(shè)備。

近年來(lái), 受半導(dǎo)體制造、液晶注入、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)、電子器件等新興行業(yè)和薄膜制備、化工、制藥等傳統(tǒng)行業(yè)的帶動(dòng), 多級(jí)羅茨干泵作為核心裝備之一, 其研制和生產(chǎn)越來(lái)越受到重視。多級(jí)羅茨干泵滿足了IC 裝備制造業(yè)的工作溫度高、長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定、噪聲低、維護(hù)簡(jiǎn)單、清潔無(wú)油等眾多要求, 是很有發(fā)展前景的一種干式真空泵。作為所有布勒萊寶光學(xué)設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)，每臺(tái)設(shè)備都可通過(guò)遠(yuǎn)程軟件工具訪問(wèn)，輕松地實(shí)現(xiàn)離站分析和檢修活動(dòng)。但是, 除了加工及裝配要求精度高、加工難度大、一次性投入昂貴等制約因素外, 其設(shè)計(jì)理論和制造工藝亟待提高, 尤其包括羅茨型線的改善、加工成本的降低、間隙的確定、泄漏量的計(jì)算、泵內(nèi)的熱力學(xué)分析、轉(zhuǎn)子表面涂層、噪聲振動(dòng)等難點(diǎn)問(wèn)題, 制約了多級(jí)羅茨干泵研制和生產(chǎn)。