氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用不銹鋼保溫器皿：真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s檢漏儀對(duì)示漏氣體的要求：在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測(cè)的準(zhǔn)確性。氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)：檢測(cè)時(shí)間和周期非常短，可以達(dá)到5s以內(nèi)；檢測(cè)的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可；

氦氣檢漏儀觸摸屏實(shí)時(shí)顯示監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)和運(yùn)行參數(shù)，監(jiān)控一目了然。電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護(hù)及聲光報(bào)警功能，確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運(yùn)行。一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險(xiǎn)性，在應(yīng)用中較少使用，所以實(shí)際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦氣檢漏儀關(guān)鍵零部件全球集優(yōu)采購(gòu)，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性；真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準(zhǔn)確性、；

氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)示漏氣體的要求及選擇：無(wú)害，不能對(duì)人體或環(huán)境造成傷害;質(zhì)量輕，惰性氣體，穿透能力強(qiáng)，能穿透微小細(xì)縫;化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)引起化學(xué)反應(yīng);氦質(zhì)譜檢漏儀優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：1.采用便攜式設(shè)計(jì)，2.設(shè)備外型美觀小巧，3.采用液晶觸摸屏設(shè)計(jì)，4.有通訊接口，5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。