的檢漏儀器應(yīng)用讓我國(guó)許多設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗(yàn)之中，應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見的事項(xiàng)，在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。同樣在裝備中也離不開檢漏,彈體、燃料儲(chǔ)備罐、燃料運(yùn)輸管道、彈頭、特殊部件的密封性都要用到氦質(zhì)譜檢漏。

檢漏儀全無油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。同樣在裝備中也離不開檢漏,彈體、燃料儲(chǔ)備罐、燃料運(yùn)輸管道、彈頭、特殊部件的密封性都要用到氦質(zhì)譜檢漏。吸氦法主要用于檢查某些大型密封容器。如彈體、彈頭、氣罐、油罐等,先將容器抽真空,再給容器充入氦氣(為了節(jié)省用氦量,可以用低濃度氦氣)

氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測(cè)靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，可將標(biāo)準(zhǔn)漏孔拆卸進(jìn)行校準(zhǔn)，如果不能單獨(dú)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，就可考慮直接通過氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行漏率部分的校準(zhǔn)。氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣作示漏氣體，以氣體剖析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣作為一種惰性氣體，對(duì)設(shè)備無腐蝕性，對(duì)容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾小，因此常作為漏氣體使用。