氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)：檢測時間和周期非常短，可以達(dá)到5s以內(nèi)；檢測的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可；據(jù)日本有關(guān)文章介紹，日本汽車制造業(yè)，已有30多種零部件在使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏，解決密封問題。其中包括液壓系統(tǒng)、制動系統(tǒng)、轉(zhuǎn)向系統(tǒng)、避震系統(tǒng)、汽車輪轂。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。

氦氣檢漏儀關(guān)鍵零部件全球集優(yōu)采購，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性；真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準(zhǔn)確性、；主要配置：檢漏儀分子泵。機(jī)械泵或者干泵。定制檢漏儀電磁閥。內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏口。 放大器。質(zhì)譜模塊。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時監(jiān)測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率，簡便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。