氦質(zhì)譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇：無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害;質(zhì)量輕，惰性氣體，穿透能力強，能穿透微小細縫;化學性質(zhì)穩(wěn)定，不會引起化學反應;檢漏時噴在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍，該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間，即為兩次噴氦的較小間隔時間，當然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時間也越長。檢漏儀高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學性質(zhì)及危險性，在應用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。主要配置：檢漏儀分子泵。機械泵或者干泵。定制檢漏儀電磁閥。內(nèi)置標準漏口。 放大器。質(zhì)譜模塊。筆者根據(jù)實測經(jīng)驗，兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右，即如果次噴氦后30s內(nèi)檢漏儀還沒有反應,則可進行第二次噴氦。

氦氣檢漏儀可同時檢測多工件，并能按照需求自動判斷出具體的有漏工件；專業(yè)定制的的密封接頭，穩(wěn)定可靠，減少誤判。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標的氦本底，保證檢測的穩(wěn)定性和準確性；實時監(jiān)測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；

氦質(zhì)譜檢漏儀設(shè)備內(nèi)芯制造借鑒國外先進技術(shù)，具有靈敏度高，反應快，開機時間短等特點，是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動氦質(zhì)譜檢漏儀。氦質(zhì)譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇：無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害;質(zhì)量輕，惰性氣體，穿透能力強，能穿透微小細縫;化學性質(zhì)穩(wěn)定，不會引起化學反應;檢漏儀高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。