檢漏儀噴氦法一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等) 用噴氦。氦質(zhì)譜檢漏儀其產(chǎn)品結(jié)構(gòu)和操作模式等都有著顯著的優(yōu)勢，并且還指出檢漏儀近些年來已經(jīng)逐步精簡體積實現(xiàn)了更加便攜化的操作設(shè)計。氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣作示漏氣體，以氣體剖析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣作為一種惰性氣體，對設(shè)備無腐蝕性，對容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾小，因此常作為漏氣體使用。

的檢漏儀器應(yīng)用讓我國許多設(shè)備的運轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗之中，應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見的事項，在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機、、飛機等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。同樣在裝備中也離不開檢漏,彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、彈頭、特殊部件的密封性都要用到氦質(zhì)譜檢漏。

在氦質(zhì)譜檢漏儀的進氣法蘭處接上橡皮管,橡皮管的前端有直徑很小的毛細管,使毛細管在充了氦的被檢容器外壁的焊縫和密封接頭等處移動,如果該容器有漏隙,經(jīng)漏隙滲出的氦會被毛細管吸入,檢漏儀就會響應(yīng)。同樣在裝備中也離不開檢漏,彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、彈頭、特殊部件的密封性都要用到氦質(zhì)譜檢漏。檢漏儀檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴散的速度很高;所以氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,選購檢漏儀時注意檢漏需求和設(shè)備功能的匹配度，不同的產(chǎn)品檢漏操作時所需要的模式等都有著顯著的區(qū)別，消費者在選購氦質(zhì)譜檢漏儀時必須要根據(jù)產(chǎn)品的檢測功能需求進行挑選，檢漏儀全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。