氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣檢漏儀可同時檢測多工件，并能按照需求自動判斷出具體的有漏工件；專業(yè)定制的的密封接頭，穩(wěn)定可靠，減少誤判。檢漏儀的響應(yīng)時間會影響檢漏工作的速度，正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時間不大于3s。筆者實(shí)測時，在漏點(diǎn)處噴射氦氣5～10s后，檢漏儀就發(fā)生響應(yīng)，對于如此龐大的真空系統(tǒng)，其反應(yīng)是相當(dāng)?shù)撵`敏。

檢漏儀對示漏氣體的要求：在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準(zhǔn)確性。氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響；檢測的數(shù)據(jù)精準(zhǔn)；自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時監(jiān)測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；

使用氦氣噴在管道密封接頭，焊縫處噴氦，如果被檢管道某處有泄漏，當(dāng)氦噴到漏孔上時，氦氣會立刻被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室內(nèi)，氦質(zhì)譜檢漏儀感應(yīng)到氦就會立刻有響應(yīng)。從而達(dá)到了檢漏的結(jié)果。氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時會自動上升，為了準(zhǔn)確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時噴氦自上而下，由近至遠(yuǎn)（相對檢漏儀的位置），這是因?yàn)樵谙路綍r有可能被上方漏孔吸入；檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達(dá)到一定真空度。

氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。對于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：冶金——真空電爐；低溫與壓力容器——液氮和液氦儲存罐、生物制品容器及各類壓力容器；輕工產(chǎn)品——保溫杯、太陽能集熱管、飲料罐口等。