凈化車間為何要控制溫濕度

凈化車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度?！穸冗^高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。另外，由通風機排出的毒氣與粉塵物質(zhì)要經(jīng)過廢氣凈化回收器后，再排至空氣中，以減少大氣的污染。相對濕度在50%時易生銹。

GPM凈化車間的氣流組織

用高度凈化的空氣把車間內(nèi)產(chǎn)生的粉塵稀釋，叫做非層流方式（亂流方式）。用高度凈化的氣流作為載體，把粉塵排出，叫做層流方式。后者有垂直層流和水平層流方式。從房頂方向吹入清潔空氣通過地平面排出叫垂直層流式，從側(cè)壁方向刮入清潔空氣，從對面?zhèn)缺谂懦鼋兴綄恿魇?。這些方式分別如圖1、圖2所示，表示了各種方式的模示圖和特征。亂流方式由于換氣次數(shù)的變化潔凈度也隨之變化，但通常潔凈度要求10000級時換氣次數(shù)在25～35次/小時范圍內(nèi)；潔凈度要求100000級時換氣次數(shù)在15～25次/小時范圍內(nèi)；冷卻循環(huán)水管應(yīng)采用鍍鋅鋼管、生產(chǎn)用水設(shè)備與管道的連接應(yīng)采用軟管。潔凈度要求300000級時換氣次數(shù)在12～18次/小時范圍內(nèi)在100000級范圍；層流方式通常規(guī)定了氣體流速為0 25～0 5M/S。

 排水管材的選擇，應(yīng)針對排水的水質(zhì)特點選用。潔凈廠房內(nèi)管道的敷設(shè)方式直接影響潔凈室的空氣潔凈度，因此管道應(yīng)盡量在潔凈室外。潔凈廠房的生產(chǎn)給水管傳統(tǒng)的管材，一般采用鍍鋅鋼管，考慮到潔凈環(huán)境下，所選管材應(yīng)有較好的化學穩(wěn)定性，以保證水質(zhì)在輸送過程中下降小。不論什么行業(yè)對產(chǎn)品的質(zhì)量，環(huán)境的潔凈都是越來越嚴格的，潔凈室凈化工程也將深入各行各業(yè)，這是發(fā)展趨勢。另外則主要在電子信息、半導體、光電子、精密制造、食品加工、衛(wèi)生、生物工程、汽車噴涂等眾多行業(yè)應(yīng)用廣泛。