電池片的制作工藝

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擴散工藝

擴散目的

在來料硅片 P 型硅片的基礎上擴散一層 N 型磷源，形成 PN 結(jié)。

擴散原理

POCl 3 在高溫下 （ > 600 ℃ ） 分解生成五氯化磷 （ PCl 5 ） 和五氧化二磷 （ P 2 O 5 ）， 其反應式如下 ：

5POCl 3=3PCl 5 P 2 O 5

生成的 P 2 O 5 在擴散溫度下與硅反應 ， 生成二氧化硅 （ SiO 2 ） 和磷原子 ， 其反應式如下 ：

2P 2 O 5 5Si = 5SiO 2   4PPOCl 3

熱分解時，如果沒有外來的氧（ O 2 ）參與其分解是不充分的，生成的 PCl5 是不易分解的，并且對硅有腐蝕作用，破壞硅片的表面狀態(tài)。但在有外來 O2 存在的情況下， PCl 5 會進一步分解成 P2O 5 并放出氯氣（ Cl 2 ）其反應式如下：  

4PCl 5 5O 2=2P 2 O 5 10Cl 2  

生成的 P 2 O 5 又進一步與硅作用，生成 SiO 2 和磷原子，由此可見，在磷擴散時，為了促使 POCl3 充分的分解和避免 PCl 5 對硅片表面的腐蝕作用，必須在通氮氣的同時通入一定流量的氧氣。就這樣 POCl 3 分解產(chǎn)生的 P 2 O 5 淀積在硅片表面， P 2O 5 與硅反應生成 SiO 2 和磷原子，并在硅片表面形成一層磷 - 硅玻璃，然后磷原子再向硅中進行擴散。

1. 通過測試數(shù)據(jù)監(jiān)控生產(chǎn)電池片的效率及暗電流等參數(shù)是否正常。

2. 對生產(chǎn)的電池片進行分檔，將相同電性能的電池片分在一起以便做成組件。

標準測試條件

1. 光源輻照度： 1000W/m2 。  

2. 測試溫度：   25℃ 。

3.AM1.5地面太陽光譜輻照度分布。

測試參數(shù)

1. 開路電壓

在一定的溫度和輻照度條件下，太陽電池在空載情況下的端電壓，用 V oc 表示， PN 結(jié)開路，即 I=0 ，此時 PN 結(jié)兩端的電壓即為開路電壓。將I=0 代入伏安特性方程得：

KTln(I L /I S 1)/q 。太陽電池的開路電壓與電池面積大小無關。太陽電池的開路電壓與入射光譜輻照度的對數(shù)成正比。