無塵車間接地系統(tǒng)的分哪幾類？

電子設(shè)備接地

可以將直擊雷與雷電波侵入的雷害的概率降低很多。對(duì)于一般電氣設(shè)備, 允許的雷電脈沖較高, 因此采取避雷針 、避雷網(wǎng)防直擊雷等措施是極其有效的。微電子設(shè)備非常靈敏, 耐壓水平很低, 一般只有 10 V左右, 對(duì)雷擊電磁脈沖極為敏感, 易受到電磁干擾和損壞。雷擊電磁脈沖因電磁感應(yīng)產(chǎn)生, 并且可以通過電源線 、天線 、信號(hào)線的耦合被引入微電子設(shè)備。

過濾器DOP（PAO）檢漏法在潔凈室中的應(yīng)用

采取相應(yīng)的補(bǔ)救措施，保證區(qū)域的潔凈度 。

DOP（PAO）檢漏法原理：過濾器的檢漏通常采用DOP（PAO）發(fā)生器在過濾器上游發(fā)塵，使用光度計(jì)（photometer）檢測(cè)過濾器上下游氣溶膠濃度來判定過濾器是否有泄漏。發(fā)塵的目的是因過濾器上游塵粒濃度較低，僅用粒子計(jì)數(shù)器在不發(fā)塵的情況下檢測(cè)，較難發(fā)現(xiàn)有泄漏。

按照氣溶膠光度計(jì)操作要求進(jìn)行初始化、設(shè)定報(bào)警值。將UPSTREAM采樣管與上游采樣口相連，測(cè)量上游氣溶膠的濃度。按照氣溶膠發(fā)生器操作要求調(diào)節(jié)發(fā)生的氣溶膠濃度，使上游氣溶膠濃度達(dá)到10 mg/L~30 mg/L。

掃描檢漏卸下HEPA的散流板，對(duì)整個(gè)過濾器面、過濾器與邊框之間、邊框與邊框之間以及邊框與靜壓箱之間的密封進(jìn)行掃描。

除5套因安裝時(shí)密封不好，后經(jīng)重新安裝調(diào)整再測(cè)外，55套過濾器全部達(dá)標(biāo)。

結(jié)果判定及處理：過濾器泄漏率應(yīng)≤0.01%。若 HEPA在檢測(cè)過程中，所有點(diǎn)的%LEAKAGE（泄漏率%）都不超過0.01%，則判該HEPA合格，若有一處超過0.01%，則判為不合格，并將該點(diǎn)標(biāo)記出來，需修補(bǔ)或更換。過濾器濾料泄漏處允許用專用膠水修補(bǔ)。