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從光刻機(jī)還是蝕刻機(jī),至少可以看得出來(lái)國(guó)產(chǎn)芯片已經(jīng)取得了非常大的成就。
中微半導(dǎo)體7nm蝕刻機(jī)的量產(chǎn),直接邁入世界行列,5nm蝕刻機(jī)也在實(shí)驗(yàn)階段。而光刻機(jī)方面已邁入22納米。
我們也相信如果光刻機(jī)與蝕刻機(jī)紛紛取得進(jìn)展,也將成為如果挑戰(zhàn)臺(tái)積電、三星、英特爾背后大霸主的有力籌碼。至少“科技自立”下,實(shí)現(xiàn)芯片研發(fā)國(guó)產(chǎn)化、加工制造本土化。那個(gè)時(shí)候,將會(huì)造福諸如華為、小米、OV等國(guó)產(chǎn)手機(jī)。
1、 化學(xué)蝕刻法—用強(qiáng)酸或強(qiáng)堿溶液直接對(duì)工件未被保護(hù)部位進(jìn)行化學(xué)腐蝕,這也是目前使用的一種方法,優(yōu)點(diǎn)是蝕刻深度可深可淺,蝕刻速度很快,缺點(diǎn)是腐蝕液對(duì)環(huán)境有很大的污染,特別是蝕刻液不易回收。并且在生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)操作工人的身體健康有害。
2、 電化學(xué)蝕刻—這是一種把工件做陽(yáng)極,使用電解質(zhì)通電,陽(yáng)極溶解,從而達(dá)到蝕刻目的的方法,其優(yōu)點(diǎn)在于環(huán)保方面,對(duì)環(huán)境污染很小,對(duì)操作工人的身體健康無(wú)害,缺點(diǎn)是蝕刻深度較小,大面積蝕刻時(shí),電流分布不均勻,深度不易控制。
3、 激光蝕刻法—優(yōu)點(diǎn)是線性邊沿整齊無(wú)側(cè)蝕現(xiàn)象,但成本很高,約為化學(xué)蝕刻法的一倍。印刷電路板行業(yè)印刷錫膏時(shí),所用的不銹鋼絲網(wǎng)大多是用激光蝕刻法制作的。
目的:除去工件表面的防銹油、潤(rùn)滑油、乳化液及工作人員分泌的汗?jié)n油脂等。
成份組成:、碳酸鈉等堿性物質(zhì)及十二烷基磺酸鈉等。
脫脂不完全會(huì)影響后面涂布工序中保護(hù)膜與工件的接合力,以致在蝕刻過(guò)程中保護(hù)膜脫落造成工件的損壞。
涂布感光油墨。
可以采用滿版印刷、刷涂、滾涂或噴涂的方式,對(duì)油墨涂層的均一性要求不是很高,只要能保證涂層能夠在蝕刻時(shí)對(duì)產(chǎn)品需保護(hù)部位得到充分的保護(hù)。