高大上的電子氣體——特種氣體

我國(guó)特種氣體市場(chǎng)起步較晚，所以在技術(shù)領(lǐng)域較國(guó)外巨頭企業(yè)有一定的差距，也正是因?yàn)槿绱颂胤N氣體市場(chǎng)長(zhǎng)期被外企所壟斷。但近年來(lái)國(guó)內(nèi)電子氣體奮起直追，表現(xiàn)格外搶眼。

伴隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，特別是21世紀(jì)后我國(guó)電子行業(yè)的突飛猛進(jìn)，國(guó)內(nèi)特種氣體公司意識(shí)到了專(zhuān)有技術(shù)的重要性。我國(guó)在特種氣體生產(chǎn)、儲(chǔ)存等領(lǐng)域上取得了重要突破，特別是電子特氣目前基本實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化，基本打破了國(guó)外企業(yè)的壟斷。

近年來(lái)我國(guó)微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對(duì)氣體的使用要求極高，所以我們特將這個(gè)領(lǐng)域所使用的特種氣體叫電子特氣。

特種氣體在LED中的應(yīng)用

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并且從根本上制約著電路和器件的性和準(zhǔn)確性。

半導(dǎo)體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達(dá)百余種。半導(dǎo)體工業(yè)特種氣體應(yīng)用分類(lèi)，主要包括：

1. 硅族氣體：含硅基的類(lèi)，如、二氯二氫硅、乙等。

2. 摻雜氣體：含硼、磷、等三族及五族原子之氣體，如三氯化硼、三、磷烷、烷等。

3. 蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主，如、三氟化氮、、四氟化碳、六等。

4. 反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主，如二氧化碳、氨、氧化亞氮等。

5. 金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機(jī)烷類(lèi)金屬，如六氟化鎢、基等。

　　　工業(yè)氣體作為國(guó)民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)工業(yè)要素之一，隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，其地位和作用日益凸顯，行業(yè)下游應(yīng)用領(lǐng)域也不斷擴(kuò)展。據(jù)統(tǒng)計(jì)，2002-2017年，能源、環(huán)保、的需求增長(zhǎng)速度超過(guò)了傳統(tǒng)的鋼鐵有色，新型煤化工，尤其是煤制天然氣大發(fā)展、節(jié)能減排要求降低能耗以及國(guó)三國(guó)四標(biāo)準(zhǔn)要求降低汽柴油含硫量將加快工業(yè)氣體的需求增速。我國(guó)工業(yè)氣體行業(yè)馮朝淵表示，市場(chǎng)需求的擴(kuò)大對(duì)工業(yè)氣體行業(yè)現(xiàn)有經(jīng)營(yíng)模式推出了更高的要求，利用網(wǎng)絡(luò)技術(shù)手段進(jìn)行營(yíng)銷(xiāo)模式改革已成為大勢(shì)所趨。

?工業(yè)氣體技術(shù)特性

工業(yè)氣體技術(shù)特性：

◆采用動(dòng)態(tài)氣體混合法，具有即混即用的特點(diǎn)，使混合更均勻；

◆在額定范圍內(nèi)輸入壓力的波動(dòng)，以及輸出流量變化，配比精度保持不變；

◆配氣過(guò)程直觀，調(diào)整便捷；

◆為純機(jī)器結(jié)構(gòu)，使用壽命長(zhǎng)，；

◆體積小巧、重量輕，攜帶和使用方便；

◆氣體混合精度高，高可達(dá)±0.05%；

◆可實(shí)現(xiàn)雙元或多元同步混合；

◆混氣過(guò)程復(fù)現(xiàn)性?xún)?yōu)良，比例穩(wěn)定。