真空檢漏

真空檢漏技術(shù)就是用適當?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術(shù)，相應(yīng)的儀器稱為檢漏儀。在真空系統(tǒng)、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術(shù)確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統(tǒng)、容器、器件中的真空狀態(tài)得以維持。

漏率的大小需進行校準后方能確定。一般采用比較法，即將被檢漏孔與標準漏孔在檢漏儀上進行比較，就可得出被檢漏孔的漏率。 檢測真空系統(tǒng)或其零部件的漏孔的方法。對一定的容器進行足夠長時間的抽氣后，容器壓力不再變化，這時的抽氣量必定與容器的漏氣量和放氣量之和相等，即puSe=qL q0，式中pu為容器的極限壓力，Se為容器排氣口處的有效抽氣速率，qL和q0分別為容器的漏氣量和放氣量。如放氣量少到可以不計，則平衡式變?yōu)閜uSe=qL，或pu=qL/Se。這說明容器的極限壓力由漏氣量與有效抽氣速率的比值決定。如抽氣速率一定(常數(shù))，要得到低的極限壓力便應(yīng)降低漏氣量，檢漏便是關(guān)鍵的措施。

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器內(nèi)外的壓力差會使氣體通過漏孔從容器的一側(cè)通向大氣側(cè)。漏孔一般很微小，實際上不能測出漏孔的具體大小，所以漏孔大小都用漏率(在規(guī)定的條件下氣體流過漏孔的流量)來表示。漏孔兩側(cè)存在著壓力差，即可利用氣體流動引起的效應(yīng)來檢漏。為便于檢漏和易于檢測出漏孔的位置，一般盡可能縮小檢測的面積范圍，所以先側(cè)重于對零部件的檢漏。零部件經(jīng)過嚴格的檢漏，組裝后就可避免漏氣。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

1.智能化：以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動檢測。

2.便捷化：這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。

3.自動化程度高：自動校準氦峰，自動調(diào)節(jié)0點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜擇功能，一個按鈕即可完成全檢漏過程。

4.全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

氦氣檢測方法

深圳銳誠真空——專業(yè)氦檢漏設(shè)備供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?

1 氦氣測量精度較高。

在室溫和大氣壓力下，氦是無色、無味的氣體，是人類發(fā)現(xiàn)臨界溫度的物質(zhì)。氦是單原子氣體，化學(xué)性質(zhì)不活潑。氦氣一般不生成化合物，在低壓放電管中受激發(fā)可形成He 2、HeH等離子及分子，廣泛應(yīng)用于、科研、石化、制冷、、半導(dǎo)體、管道檢漏、超導(dǎo)實驗、金屬制造、深海潛水、焊接、光電子產(chǎn)品生產(chǎn)等。由于氦氣是惰性氣體，因此不會腐蝕設(shè)備。應(yīng)用氦氣質(zhì)譜檢測儀，能夠?qū)z測合格及不合格的鋁合金車輪自動區(qū)分到不同的地方，使輪胎的質(zhì)量風(fēng)險降低，防止微小漏氣造成的安全隱患。

2 降低人工成本。

由于氦氣氣密檢測設(shè)備是全自動操作設(shè)備，既不需要人工搬運鋁合金車輪，也不需要操作人員目不轉(zhuǎn)睛地觀察，實現(xiàn)自動化，使得人工成本得到降低。

3 .大大提升檢測效率。

正常情況下，每班次能夠檢測鋁合金車輪1300只，每年就可以檢測140多萬只鋁合金車輪，而傳統(tǒng)的氣泡檢測設(shè)備每班次只能檢測300只，每年檢測30多萬只。由此可見，應(yīng)用氦氣檢測方法，能夠使檢測效率得到大大提升。

氦質(zhì)譜檢漏儀的不同測量方法滿足多種需求

氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。秀長的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。運用了氦質(zhì)譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術(shù)，實現(xiàn)了自動氦峰掃描、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點：

1.檢測時間和響應(yīng)周期非常短，可以達到2s以內(nèi)；

2.檢測的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可；

3.多種大漏保護模式，充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊；

4.大漏檢測功能：可通過預(yù)設(shè)壓力，抽空時，達不到預(yù)設(shè)值，檢漏儀自動報警提示。

5.多種計量單位選擇，檢測數(shù)據(jù)實時更新，直接輸出生成Excel表格。

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