作用編輯①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區(qū)域；②將拋光后便化學(xué)反應(yīng)充分進(jìn)行;的反應(yīng)物、碎屑等順利排出，達(dá)到去除效果；③維持拋光墊表面的拋光液薄膜, 以便化學(xué)反應(yīng)充分進(jìn)行；④保持拋光過(guò)程的平穩(wěn)、表面不變形, 以便獲得較好的晶片表面形貌；①硬度-拋光墊的硬度決定保持面形精度的能力；②壓縮比-壓縮比反應(yīng)拋光墊的抗變形能力；③涵養(yǎng)量-拋光墊的涵養(yǎng)量是單位體積的拋光墊存儲(chǔ)拋光液的質(zhì)量；④粗糙度-表面粗糙度是拋光墊表面的凸凹不平程度,；⑤密度-密度是拋光墊材料的致密程度；

三.拋光液檢測(cè)之優(yōu)點(diǎn)分析

1、 增加生產(chǎn)量，操作人員不再需要中斷拋光工作，可以自動(dòng)的控制拋光液的噴涂,

2、節(jié)省操作時(shí)間，提高產(chǎn)能。

3、節(jié)省清洗時(shí)間， 拋光液是水性的配方，拋光后工程的清洗工序更容易，可以節(jié)省的清洗時(shí)間

4、拋光輪壽命增加，噴涂液體研磨劑對(duì)研磨輪之輪緣表面溫度有冷卻作用，

5、大大減低研磨輪的損耗，從而增加研磨輪的壽命。

6、增加產(chǎn)品的穩(wěn)定性能， 避免了人手操作的不確定性。

4.要經(jīng)常清理拋光液中的沉淀物:不允許金屬物掉在拋光液中，否則將會(huì)造成拋光液的浪費(fèi)進(jìn)而失效。

五:拋光液檢測(cè)之常規(guī)技術(shù)指標(biāo)分析

1.拋光液PH值檢測(cè)指標(biāo)-般在5. 5- -6. 5

2.拋光液外觀檢測(cè)指標(biāo)為黃色粘稠液體,可通過(guò)目測(cè)來(lái)完成

3.拋光液粘度檢測(cè)指標(biāo)-般在500- 100cps

4、拋光液有害物質(zhì)檢測(cè)指標(biāo):菌落總數(shù)、大腸菌群、致病菌、重金屬.等

5.拋光液其他檢測(cè)指標(biāo):粒度分布、固含量、密度、稀釋比例、環(huán)保性能等