概述

愛德華 E2M80 系列雙級油封旋轉葉片真空泵因其高極限真空、高抽速、低運行噪音和水蒸汽處理能力而享有盛譽。這些直聯(lián)式旋片泵設計緊湊且無振動，配備防傷手風扇和聯(lián)軸器殼體，可為操作人員提供保護。

這種泵能勝任大多數(shù)工作，并且可在其正常運行參數(shù)范圍內，安全地處理非易燃氣體和蒸汽。

應用

真空冶金加工

薄膜覆層技術

制藥冷凍干燥

冷凍和空調系統(tǒng)抽空、干燥和回填

變壓器和電纜干燥及浸漬、絕緣油處理工廠

燈具制造

低溫容器抽空

化工行業(yè)中的真空干燥和蒸餾

半導體設備制造

用于高真空應用的前級泵

技術數(shù)據(jù)

排量    

 50Hz    80 m3h-1/47.1 ft3min-1

 60Hz    96 m3h-1/56.5 ft3min-1

速度 (Pneurop)    

 50Hz    74 m3h-1/43.6 ft3min-1

 60Hz    90 m3h-1/53 ft3min-1

級數(shù)    2

極限真空（總壓力）    

 不帶氣鎮(zhèn)    1 x 10-3 mbar/7.7 x 10-4 Torr

 帶氣鎮(zhèn)    7 x 10-3 mbar/5.4 x 10-3 Torr

極限（帶 Fomblin?）    

 不帶氣鎮(zhèn)    1 x 10-2 mbar

進氣口連接    ISO40

出口連接    適用于 NW25 的 25 mm 法蘭

出口壓力    0.5 bar 表壓

水蒸汽的進氣口壓力    5 mbar / 3.8 Torr

水蒸汽抽速    0.3 kg h-1/0.7 lb h-1

重量    125 kg/275 lb

電機保護額定值    IP55

電機功率    

 50Hz    2.2 kW/3 hp

 60Hz    3 kW/4 hp

標準油量    

      6.3 升/6.7 qt

      4 升/4.2 qt

PFPE 油量    

      4.01 升/4.2 qt

      2.19 升/2.3 qt

推薦用油    Ultragrade 70

噪音級別    70 dB(A)

愛德華E2M80概述：

愛德華 E2M80 系列雙級油封旋轉葉片真空泵因其高極限真空、高抽速、低運行噪音和水蒸汽處理能力而享有盛譽。這些直聯(lián)式旋片泵設計緊湊且無振動，配備防傷手風扇和聯(lián)軸器殼體，可為操作人員提供保護。這種泵能勝任大多數(shù)工作，并且可在其正常運行參數(shù)范圍內，安全地處理非易燃氣體和蒸汽。

惠州市明勝機電設備有限公司制造銷售各種真空泵，并提各類真空泵維修保養(yǎng)服務（羅茨，螺桿，旋片式，干式，水環(huán)式等真空泵維修保養(yǎng)）以及各類進口真空泵配件耗材。服務品牌：普旭（博世）、里其樂、萊寶、貝克、愛發(fā)科、愛德華、大晃、斗一，阿爾卡特等進口真空泵。價格合理，優(yōu)質服務，歡迎前來咨詢。

金屬電鍍

如今的某些 制程使用金屬有機前體物，當這些金屬有機前體物通過艙室時， 它們會產生一些副產品，極有可能將其金屬物沉積 到泵表面上。對于這些應用，通常使用低溫泵以便確保 長的維修間隔。

氣體減排選擇

每個 CVD 制程都需要某種形式的氣體減排 設備，以便可以將有毒和危險的制程副產品安全地 轉換為可任意處理的元素。我們對我們的燃料燃燒 廢氣管理設備倍感驕傲，因為它們能夠有效地 將副產品強制重組為安全的化合物。有了多入口 燃料燃燒能力，當您不需要對制程廢氣進行除害處理時， 您可以通過關閉主燃燒器來快速部署環(huán)保模式。

集成式系統(tǒng)和生產層解決方案

僅僅有泵和氣體減排設備，您 仍然不能隨時運轉您的制程。您將需要連接泵排氣管道、 連接管道加熱器（如果需要）、鋪設供水管道、吹掃管道和 電氣線路，然后讓所有控制信號準備就緒。您還 必須考慮雙殼體、氣體泄漏檢測以及在進行工具維護后 如何進行泄漏檢查。所有這些事宜都將占用您的 設計時間和資金。我們了解問題所在，因此開發(fā)了集成的、 特定于制程的解決方案。

我們的集成式系統(tǒng)已針對大多數(shù)半導體 CVD 制程進行預設計。排氣加熱器針對適當溫度 進行設置以便大程度地降低成本和延長正常運行時間。我們 在需要的位置安裝泄漏檢查端口和閘閥。我們可以 在裝置內安裝有毒氣體傳感器并密封整個系統(tǒng)，最 重要的是，您只需要提供每種所需的水電設施。我們 會根據(jù)需要分配吹掃、水、電和控制信號并打造隨時可 投入使用的系統(tǒng)。