安裝質量不好將會使壓升率達不到技術要求，長期使用之后，真空爐的壓升率也會增大。當真空度壓升率惡化到一定程度后，處理零件的表面質量下降，加熱元件的使用壽命會明顯降低，這是需要對爐子檢漏，并排除漏氣原因。檢漏及排除漏氣因素的目的就是使漏氣率達到技術條件要求。1）由于存在漏孔產生的漏氣；2）由滲透產生的漏氣；滲透式指氣體不是通過固體中的漏孔方式漏氣的現(xiàn)象，而是氣體吸附在固體的高壓一側表面上，然后沿濃度梯度向固體低壓的一側擴散。在真空爐中的金屬、玻璃、橡皮、陶瓷等材料，都是可以滲透氣體的。

固溶退火在高溫下會溶解任何沉淀的碳化物相，然后迅速冷卻，因此不會出現(xiàn)碳化物以降低耐腐蝕性。

酸洗去除了現(xiàn)有的表面氧化物（例如來自熱處理或焊接的表面氧化物），表面污染（例如來自鋼鐵模具的鐵），并去除了由于先前加熱而經常耗盡鉻的近表層金屬。

鈍化通常在肖酸溶液中完成（或越來越多地在加熱的檸檬酸溶液中完成）。它選擇性地溶解了表面層中的Fe和Ni原子，并氧化了剩余的Cr原子，從而形成了Cr2O3含量高的耐腐蝕表面氧化物。

鈍化的高程度由之前鈍化電拋光獲得的，相關的具體知識點需要查閱“比較表面鈍化和電拋光316L不銹鋼的特性”。

隨著相關技術的不斷進步，不僅真空熱處理設備取得了較大的發(fā)展，與其相關的配套設施也取得了長足的進步。目前我國已經能夠生產各個種類的真空泵、真空閥、真空測量儀器等，甚至一些以前無法實現(xiàn)自主生產的配套產品也實現(xiàn)了自產(如爐內使用的由金屬和石墨材質制成的保溫層和發(fā)熱元件等)，并且其性能和質量已經接近或已達到了國外同類產品的水平。相關配套產業(yè)的快速發(fā)展有效地促進了我國真空熱處理水平的整體進步。


由于真空熱處理加熱具有脫氣、脫脂、除銹的功能，溶解在金屬中的氣體容易排出，所以真空退火后的零件表面干凈光亮。真空退火時，壓力加工產生的變形晶粒得到恢復，同時形成新的晶粒，使顯微組織均勻細化，從而改變材料的力學性能。真空退火后，材料表面無潤滑劑痕跡，表面干燥?？芍苯与婂?，無需酸洗或噴砂，縮短工藝流程，提高產品質量。難熔金屬的退火。鉬、鎢、鉭、鈷、釩、鈷等金屬熔點高，易氧化，易被耐火材料污染，加工時強度和硬度高。如果其中含有氫、氧、氮等氣體，材料的延展性就會變差。為了將它們變成型材，它們必須在真空退火后軟化，然后進行壓制加工。