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影響膜厚測量儀的因素
基體金屬電性質(zhì)
基體金屬的導(dǎo)電性對測量有影響,而基體金屬的導(dǎo)電性與材料成分和熱處理方法有關(guān)。使用與樣品金屬具有相同性質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)膜校準(zhǔn)儀器。
基體金屬厚度
每個(gè)儀器具有賤金屬的臨界厚度。大于此厚度,測量不受基體金屬厚度的影響。
曲率
試樣的曲率對測量有影響。這種效應(yīng)總是隨著曲率半徑的減小而增加。因此,測量彎曲試樣的表面是不可靠的。