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從光刻機(jī)還是蝕刻機(jī),至少可以看得出來國產(chǎn)芯片已經(jīng)取得了非常大的成就。
中微半導(dǎo)體7nm蝕刻機(jī)的量產(chǎn),直接邁入世界行列,5nm蝕刻機(jī)也在實驗階段。而光刻機(jī)方面已邁入22納米。
我們也相信如果光刻機(jī)與蝕刻機(jī)紛紛取得進(jìn)展,也將成為如果挑戰(zhàn)臺積電、三星、英特爾背后大霸主的有力籌碼。至少“科技自立”下,實現(xiàn)芯片研發(fā)國產(chǎn)化、加工制造本土化。那個時候,將會造福諸如華為、小米、OV等國產(chǎn)手機(jī)。
1、 化學(xué)蝕刻法—用強(qiáng)酸或強(qiáng)堿溶液直接對工件未被保護(hù)部位進(jìn)行化學(xué)腐蝕,這也是目前使用的一種方法,優(yōu)點是蝕刻深度可深可淺,蝕刻速度很快,缺點是腐蝕液對環(huán)境有很大的污染,特別是蝕刻液不易回收。并且在生產(chǎn)過程中對操作工人的身體健康有害。
2、 電化學(xué)蝕刻—這是一種把工件做陽極,使用電解質(zhì)通電,陽極溶解,從而達(dá)到蝕刻目的的方法,其優(yōu)點在于環(huán)保方面,對環(huán)境污染很小,對操作工人的身體健康無害,缺點是蝕刻深度較小,大面積蝕刻時,電流分布不均勻,深度不易控制。
3、 激光蝕刻法—優(yōu)點是線性邊沿整齊無側(cè)蝕現(xiàn)象,但成本很高,約為化學(xué)蝕刻法的一倍。印刷電路板行業(yè)印刷錫膏時,所用的不銹鋼絲網(wǎng)大多是用激光蝕刻法制作的。
目的:除去工件表面的防銹油、潤滑油、乳化液及工作人員分泌的汗?jié)n油脂等。
成份組成:、碳酸鈉等堿性物質(zhì)及十二烷基磺酸鈉等。
脫脂不完全會影響后面涂布工序中保護(hù)膜與工件的接合力,以致在蝕刻過程中保護(hù)膜脫落造成工件的損壞。
涂布感光油墨。
可以采用滿版印刷、刷涂、滾涂或噴涂的方式,對油墨涂層的均一性要求不是很高,只要能保證涂層能夠在蝕刻時對產(chǎn)品需保護(hù)部位得到充分的保護(hù)。