【廣告】
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。潔凈室zui主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
凈化工程的設(shè)計(jì)中的注意事項(xiàng):劃分和布置空調(diào)凈化和排風(fēng)系統(tǒng),選擇合理的空氣凈化通風(fēng)設(shè)備。設(shè)計(jì)凈化系統(tǒng)組織的原則是相鄰二級(jí)過濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級(jí)過濾器。也可分四級(jí),增加一級(jí)過濾器。排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等,凈化車間設(shè)計(jì)時(shí),要根據(jù)實(shí)際情況選擇。
凈化工程技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用趨勢(shì):潔凈技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù),是近二、三十年來隨著高新技術(shù)發(fā)展起來的一門綜合性的新興科學(xué)技術(shù)。潔凈技術(shù)專門研究并提供潔凈的生產(chǎn)工藝環(huán)境和生產(chǎn)過程中使用的各種高純介質(zhì),有效地控制微量雜質(zhì),以保證高科技產(chǎn)品的成品率和可*性。潔凈技術(shù)通常包括:空氣凈化技術(shù)、空調(diào)技術(shù)、水純化技術(shù)、氣體純化技術(shù)、微量雜質(zhì)控制技術(shù)、潔凈環(huán)境的監(jiān)測(cè)技術(shù)及相關(guān)的環(huán)境質(zhì)量的控制技術(shù)。凈化工程技術(shù)在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機(jī)械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領(lǐng)域及現(xiàn)代科學(xué)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。