氫氣檢漏法的基本原理

氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮氣的混合氣作為示蹤氣體進行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。5%氫氣與95%氮氣的混合氣體是不可燃的(ISO10156國際標準)，無毒性和腐蝕性，也不會對設備和環(huán)境產(chǎn)生不利影響。氫氣作為檢漏使用的示蹤元素，有著很多的優(yōu)點。檢漏時將檢漏器的靈敏度調(diào)到最da，一邊移動探頭，一邊偵聽，使能聽到的超聲波發(fā)出的聲音達到最da。

氫的分子量與氦氣相近，是所有化學元素中分子量較輕的元素，有很好的擴散性，逃逸性很強，吸附及粘滯性很低。由于氫分子移動速度要高于其他分子，因此使用安全的低濃度氫氣作為示蹤氣體，可以有著更快的響應速度和更好的檢漏精度。基本工作原理是使用專門開發(fā)的氫氣傳感器，它只對氫氣有響應信號，而對其他氣體沒有響應，屬于唯1性檢漏性檢漏方法。一旦出現(xiàn)信號響應，說明有氫氣通過漏孔進入被檢件中，從而指示漏孔的位置與大小。進行真空箱法檢漏，檢漏完成后工件及真空箱放空，保證了系統(tǒng)的可靠性和可維護性。同時，由于氫氣在一般環(huán)境中的含量濃度都非常低，所以不會因本底污染而導致誤報警。

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氫氣檢漏法的主要設備

(1)檢漏儀：采用上述工作原理制造的專用氫氣檢漏儀，由于氫氣的上述性質(zhì)，其靈敏度可以達到與氦檢相同水平。

(2)示蹤氣體充注控制器：對于批量生產(chǎn)的用戶，采用示蹤氣體充注控制器進行抽真空/充氣/排氣操作，可以完成對檢測管道的充氣和排氣過程自動化控制。

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真空設備檢漏

設備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器，

其測量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。真空設備檢漏氦質(zhì)譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護裝置。

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并預先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對檢漏儀進行標定。若需在抽真空方式下準確地找到漏孔的

位置，可以通過對可yi位置噴氦并檢驗漏率是否有明顯的上升來完成。

與抽真空方式相反，嗅探方式是通過測量待測器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預先向待測器件內(nèi)充入一定氦氣，

封閉測試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進行測量的，大氣中的氦會帶來一個較高的漏率本底?，F(xiàn)今的氫氮混合氣檢漏技術(shù)可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相當于0。這個本底雖可通過置零來清除，但仍會降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。