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氫氣檢漏法的優(yōu)勢
制冷、空調(diào)行業(yè)檢漏技術(shù)的現(xiàn)狀:在產(chǎn)品部件生產(chǎn)過程中,目前常使用氦檢漏技術(shù)來查找微小的泄漏,而保壓測試和水浴法常被用來檢測較大的泄漏。產(chǎn)品裝配完成并充入制冷劑之后,可能在出廠前還會使用鹵素檢漏儀對整個產(chǎn)品再進(jìn)行一次檢漏。由于保壓測試和水浴法只能檢出10-3mbar·l/s左右的泄漏,因此長期以來,氦檢漏技術(shù)是制冷、空調(diào)行業(yè)中的檢小漏的手段,吸槍式氦檢漏技術(shù)一般可以檢出10-7mbar·l/s左右的泄漏。檢測時,可以直接使用超聲波檢測器,根據(jù)檢測儀表指針是否擺動,確定有無泄漏。但是,以氦氣作為示漏氣體,也有一些不足之處,例如橡膠、塑料等有機(jī)材料常常會吸收氦氣,在吸收后慢慢地釋放出來;所有的氦氣檢漏儀器機(jī)構(gòu)的離子收集板,對氦氣都會產(chǎn)生記憶效應(yīng),即氦離子打到離子收集板上,并儲存一定時間,然后再慢慢釋放出來,從而造成本底的噪音等問題。
無論是在漏點(diǎn)定位還是在泄漏測試應(yīng)用,這種檢漏方法已經(jīng)在各個行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)得到了廣泛使用。與氦氣相比,使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢。其價格非常低廉,很容易在各個氣體供應(yīng)商處購得。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過程中,判斷漏與不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置?,F(xiàn)今的氫氮混合氣檢漏技術(shù)可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏,相當(dāng)于0.1g/y,其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20,同時氦氣檢漏法要增加一些輔助設(shè)備,如氦氣回收系統(tǒng)等。
真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出??蛻粢部梢灾苯邮褂脷錃鈾z漏儀進(jìn)行高靈敏的檢漏以避免溫度變化帶來的對壓降法檢漏的影響。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進(jìn)行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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真空設(shè)備檢漏
如何判斷真空系統(tǒng)是否存在漏氣,通常采用靜態(tài)升壓法,即把容器抽到一定壓強(qiáng)后,關(guān)閉閥門將被抽容器與泵隔開,若容器漏氣或材料放氣,容器中的壓強(qiáng)將隨時間而上升。用真空計每隔一定時間計量一次容器中的壓強(qiáng),可得出壓強(qiáng)/時間曲線。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場中就會按照不同軌道半徑運(yùn)動而進(jìn)行分離,在設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。由于容器的漏氣與出氣情況不同,其曲線也不同
1.直線A
壓強(qiáng)不隨時間變化,說明系統(tǒng)即不漏氣,也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。
2.直線B
壓強(qiáng)期初上升很快,而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡,這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因為放氣速率隨壓強(qiáng)的升高和時間的延長而降低,故曲線漸趨向于平衡。
3.直線C
是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。
4.曲線D
開始壓強(qiáng)上升較快,而后漸漸減慢,后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認(rèn)為是B和C的疊加。如果出現(xiàn)曲線C和D的情況,則判定系統(tǒng)有漏氣。