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氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)
隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢涮儀,廣泛應(yīng)用丁航空航天,電力電子,汽車等各個行業(yè),綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn),氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發(fā)展,這些特點很好地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求,也極大的推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。一般采用檢漏盒或氦罩法,即把被檢件抽真空,然后向罩內(nèi)充入氦氣,等待一定時間,確定總漏率的大小。其中質(zhì)譜管包括離子源,質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。
離子檢測器的作用是手機質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大,再通過比對運算,得出泄漏率
真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空,同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu),檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮氣首先到達(dá)質(zhì)譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會對質(zhì)譜管有污染。正壓法氦質(zhì)譜檢漏采用正壓法檢漏時,需對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個大氣壓力的氦氣,當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時,氦氣就會通孔漏孔進入被檢外表面的周圍大氣環(huán)境中,再采用吸槍的方式檢測被檢產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量,從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測量。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏,氦氣是逆擴散到質(zhì)譜管,不會對系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主流的產(chǎn)品。
機械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會有油霧排出,污染工作環(huán)境,干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。
氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用拓展一
例如火箭發(fā)動機及姿態(tài)發(fā)動機,過去是打壓刷肥皂水檢漏,現(xiàn)在重新改進工藝用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏,采用正壓吸槍與氦罩法結(jié)合,使檢漏靈敏度大大提高,從而保證了發(fā)動機質(zhì)量。火箭箭體的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結(jié)合。由于檢漏技術(shù)的應(yīng)用,提高了檢漏靈敏度,彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。正壓法的缺點是檢測靈敏度較低,檢測結(jié)果不確定度大,受測量環(huán)境條件影響大。
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真空箱氦檢漏及回收系統(tǒng)在汽車空調(diào)的應(yīng)用二
汽車空調(diào)兩器檢測要求
1.1 空調(diào)兩器實際工況
1.空調(diào)兩器工作介質(zhì):氟利昂或者碳?xì)浠衔镒鳛橹评鋭┕ぷ饔谄嚳照{(diào)內(nèi)部,目前比較流行使用R134a作為汽車空調(diào)的制冷劑。
2.壓力范圍:不同規(guī)格的空調(diào)兩器工作范圍在2.0~3.5MPa之間,正常工作壓力在0.8~2.0MPa之間。注:特殊情況除外。
3.氣密性要求:對于兩器產(chǎn)品,充注一定壓力R134a制冷劑,泄露量小于2克/年。
4. 耐壓要求:對產(chǎn)品加壓到實驗壓力,保壓一段時間,降到常壓,經(jīng)檢查無泄漏和異常變形。
1.2 空調(diào)兩器氦檢漏基本要求
1.耐壓測試要求:一般兩器在執(zhí)行氦檢漏之前會充注一定壓力(一般不超過3.5MPa)的高純氮氣或者干燥的壓縮空氣,對工件作耐壓測試,如果不出現(xiàn)明顯變形及大漏,再執(zhí)行氦檢測工藝。
2.氦檢測精度要求:由于不同生產(chǎn)企業(yè)對產(chǎn)品的檢測要求不盡相同,但一般都會遵循行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),或比行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求稍高。通?!皟善鳌睓z測標(biāo)準(zhǔn)不會超過1克/年。
3.檢測節(jié)拍要求:據(jù)調(diào)查一般的兩器生產(chǎn)廠家年產(chǎn)量都會在十萬只以上,要實現(xiàn)所有產(chǎn)品全部使用氦檢測,就要求氦檢測節(jié)拍越快越好。中科科美生產(chǎn)的氦檢系統(tǒng),針對冷凝器檢漏節(jié)拍在40秒/件,針對蒸發(fā)器檢漏可達(dá)20秒每件;
4.氦氣回收要求:氦檢漏系統(tǒng)使用氦氣作為示蹤氣體,由于氦氣比較貴重,如果直接排放,必然導(dǎo)致檢測成本的大幅增加。因此,一般廠家都會要求氦氣可回收,即循環(huán)利用。氦檢系統(tǒng),氦氣回收率可達(dá)95%以上。
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