真空設(shè)備檢漏

聽音法

氣體從小孔中噴出時(shí)，會(huì)發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。根據(jù)氣體漏出時(shí)發(fā)出的聲音判斷有無泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽清。它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測(cè)出泄漏。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時(shí)與泄漏無關(guān)的聲音（例如電機(jī)的聲音）也會(huì)混雜進(jìn)來，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時(shí)其它聲音也同時(shí)放大，多數(shù)情況下較難收到好的效果。在檢測(cè)壓力為0.3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。

這種方法既簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)。使用聽診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點(diǎn)。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點(diǎn)，即發(fā)聲地點(diǎn)。由于檢測(cè)環(huán)境條件不同，所得到的結(jié)果可能偏差很大。因此，這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應(yīng)與其它檢測(cè)法并用。

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真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對(duì)應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。真空設(shè)備檢漏檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè)，用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測(cè)通過漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而達(dá)到檢測(cè)的目的。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?

這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

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并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對(duì)檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的

位置，可以通過對(duì)可yi位置噴氦并檢驗(yàn)漏率是否有明顯的上升來完成。

與抽真空方式相反，嗅探方式是通過測(cè)量待測(cè)器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測(cè)器件內(nèi)充入一定氦氣，

封閉測(cè)試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對(duì)待測(cè)器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置?？苾x創(chuàng)新多年技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，為您解決后顧之憂，歡迎您撥打電話~~~。這種方式適合在待測(cè)器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過檢測(cè)器壁外的大氣來進(jìn)行測(cè)量的，大氣中的氦會(huì)帶來一個(gè)較高的漏率本底。這個(gè)本底雖可通過置零來清除，但仍會(huì)降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式xiao可檢測(cè)漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。