因此將廢氣以一般風(fēng)車(chē)抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。酸堿性排氣：其主要來(lái)源于化學(xué)清洗工作站，清洗晶片時(shí)所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體，此氣體部分含有濃煙，部分則對(duì)呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體，故必須經(jīng)過(guò)水洗中和處理，再由風(fēng)機(jī)排入大氣。

排氣：其主要來(lái)源于涂膠、顯影工序和各工序使用清洗過(guò)程時(shí)所產(chǎn)生，需經(jīng)有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理后，再由風(fēng)機(jī)排入大氣。

組裝時(shí)應(yīng)盡量調(diào)整風(fēng)道的中心度和水平度，避免風(fēng)管扭曲或上下起波，左右擺龍，每段風(fēng)道不宜超過(guò)10m.組裝時(shí)，墊片應(yīng)墊平，法蘭螺栓應(yīng)均勻擰緊，螺母帽均朝向同一方向。

風(fēng)管就位：風(fēng)管就位前應(yīng)檢查全部支架的水乎度和標(biāo)高、檢查支架的牢固程度，風(fēng)管就位可采用直接和吊具兩種方法。對(duì)風(fēng)管斷面較小，又位置較低的可采用人工就位方法，只需搭設(shè)簡(jiǎn)易腳手架即可。當(dāng)風(fēng)管斷面較大且管段較長(zhǎng)時(shí)，可采用滑輪、倒鏈、大繩等方法吊裝。

1) 送風(fēng)，包括通氣，如送鮮風(fēng)和排氣，這個(gè)范圍較廣，如工廠車(chē)間，生產(chǎn)場(chǎng)地空氣，由于有害氣體產(chǎn)生需要排出室外，又需要把室外空氣輸送至室內(nèi)。這時(shí)就要使用流量大而壓力小的空氣輸送管道，螺旋風(fēng)管就比較適用，一般情況下使用鍍鋅鐵管，有腐蝕性及特別潮濕場(chǎng)所使用不銹鋼管。

(2) 送冷風(fēng)。常見(jiàn)的是中央空調(diào)的管道，這種管道需要加保溫材料。螺旋風(fēng)管可內(nèi)貼保溫材料，外表看來(lái)美觀。

雙吊桿支架在風(fēng)道就位后，應(yīng)保證橫擔(dān)平直，吊桿不扭轉(zhuǎn)，雙吊桿受力均勻。風(fēng)管支吊點(diǎn)與風(fēng)口、風(fēng)閥和自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)之間的距離，應(yīng)不小于200mm。 風(fēng)道安裝時(shí)，進(jìn)、出風(fēng)日宜在風(fēng)道預(yù)制時(shí)開(kāi)出洞口，如需在安裝完畢的風(fēng)道上現(xiàn)開(kāi)風(fēng)口，其接口處應(yīng)嚴(yán)密。 風(fēng)管在安裝時(shí)如果要穿過(guò)墻面或者樓板，務(wù)必使用防護(hù)套管，還需要不燃柔性材料進(jìn)行封堵，套管厚度不能小于1.6mm,因?yàn)樘坠芴〉脑挷荒軌蚱鸬阶饔谩?