無塵潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室設(shè)計中受到關(guān)注的問題，隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等，對有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提 出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進，對是否采用 FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個熱點：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來，受到關(guān)注。1、1級：級的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè)，對集成電路的精1確要求為亞微米。

無塵車間施工進度應(yīng)該合格按照合同，由科瓦特專案的項目經(jīng)理把施工時間進行分解，設(shè)備到場時間預(yù)計時間，施工設(shè)備不一定是一起全部到現(xiàn)場的，如果要控制好重要材料要先到現(xiàn)場，這樣才能進行分批施工。項目經(jīng)理應(yīng)帶領(lǐng)各個項目小組，嚴(yán)格分配其小組的進度分時間段進行分解，比如一周內(nèi)要完成吊頂，一周后要完成管道安裝，如果不完成的要求項目小組加工也要完工，另外1遇到高溫或者有員工身體不適時需要及時做好措施，可有替補人員，安撫好員工的情緒，大家一起齊心協(xié)力完成工程。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A1級，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。在施工階段可針對提前完成，完成質(zhì)量好的設(shè)置考核與獎勵標(biāo)準(zhǔn)，激勵員工的熱情。

無塵車間的主要作用在于為產(chǎn)品生產(chǎn)(如化妝品等)和服務(wù)提供所需環(huán)境的潔凈程度，以及溫濕度、微震動、噪聲、照度等各項指標(biāo)，使相關(guān)產(chǎn)品和服務(wù)能夠在一個滿足要求的、受控的、良好的環(huán)境空間中進行生產(chǎn)和操作，從而達(dá)到提高產(chǎn)品生產(chǎn)的良品率，改善和提升相關(guān)服務(wù)質(zhì)量的目標(biāo)。無塵車間工程主要包括無塵車間設(shè)計、施工和運行管理前后相關(guān)的三個環(huán)節(jié)。5μm的微粒數(shù)小于350000個，但其中直徑大于或等于5μm的微粒應(yīng)小于2000個。