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ParyleneC和ParyleneN的薄膜擊穿電壓
Parylene的特征之一是它們可以形成極薄的膜層。ParyleneN薄膜和C薄膜的直流擊穿電壓被確定與高聚物厚度有肯定的關(guān)系。圖3畫出了相干的曲線。對于5個(gè)微米(0.0002inch)以下的薄膜,這方面的性能ParyleneC要強(qiáng)于ParyleneN。這些數(shù)據(jù)注解,兩種Parylene材料都具有很好的絕緣性能,即使厚度小于1個(gè)微米。隨著厚度的減小,單位厚度的擊穿電壓一樣平常將升高。
作為電子電路的防護(hù)涂層,Parylene不需另加防霉劑,自己防霉能達(dá)零級。在鹽霧實(shí)驗(yàn)中,與其它涂層相比,Parylene防護(hù)的電路電阻幾乎不降落,其它涂層則都有較大的降落。很薄的Parylene涂層能提供的防護(hù)性能,還有利于電路板工作熱量的消失,因此作為防護(hù)涂層Parylene能使電路具有更高的可靠性,分外是小型高密集度電子電路的防護(hù),Parylene更表現(xiàn)出其獨(dú)到的上風(fēng)。
帕利靈(Parylene)是一族由對二合成的熱塑性塑料聚合物的通稱。它是在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質(zhì),可以生成數(shù)百微米內(nèi)任何厚度的薄膜。利用真空沉積技術(shù)可以將膜厚精度控制在1μm。此外,真空沉積的帕利靈具有均一性、保形性,無微孔無缺陷,化學(xué)性質(zhì)不活潑等優(yōu)良特性。由于真空沉積不使用催化劑和溶劑,產(chǎn)出的薄膜很純凈,釋氣量很小。有3種成熟的帕利靈材料:C型、D型和N型,帕利靈C透水性和透氣性比其他兩種小很多,應(yīng)用廣泛。帕利靈C在溫度300K時(shí)太赫茲頻段的折射率大約為1.62,4.5K時(shí)降低到約1.5141。吸收系數(shù)約為數(shù)10cm-1量級。帕利靈C的這些特性使之成為硅、鍺材質(zhì)的透鏡和窗口的合適的抗反鍍膜材料。