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真空鍍膜就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內(nèi),采用一定方法加熱待鍍材料,使之蒸發(fā)或升華,并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝。
對于大面積鍍膜,常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。從蒸發(fā)源到基片的距離應小于蒸氣分子在殘余氣體中的平均自由程,以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學作用。
在真空條件下成膜有很多優(yōu)點:可減少蒸發(fā)材料的原子、分子在飛向基板過程中于分子的碰撞,減少氣體中的活性分子和蒸發(fā)源材料間的化學反應(如氧化等),以及減少成膜過程中氣體分子進入薄膜中成為雜質(zhì)的量,從而提供膜層的致密度、純度、沉積速率和與基板的附著力。
蒸發(fā)鍍膜與其他真空鍍膜方法相比,具有較高的沉積速率,可鍍制單質(zhì)和不易熱分解的化合物膜。
真空鍍膜技術一般分為物理液相堆積技術和有機化學液相堆積技術兩類。物理學液相堆積技術是指在真空泵標準下用各種物理方法將電鍍材料揮發(fā)成分子、分子結(jié)構或弱電解質(zhì)成正離子,立即堆積在基礎表層的方式。
利用化學物質(zhì)的熱揮發(fā)和離子轟擊分子在化學物質(zhì)表層的磁控濺射等物理學全過程,完成化學物質(zhì)分子從源化學物質(zhì)到塑料薄膜的控制轉(zhuǎn)移全過程?;瘜W氣相沉積鍍膜
真空鍍膜技術主要應用于哪些領域呢?
1.在裝飾品方面
隨著經(jīng)濟的發(fā)展和生活水平的提高,人們喜歡將手表殼、表帶、服飾、燈飾等裝飾品精飾得五彩繽紛。
2.在模具等金屬切削加工工具方面
在生活中,我們會看到金色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等,這些就是經(jīng)過鍍膜技術加工后的涂層工具。
3.在平板顯示器中
所有各類平板顯示器都要用到各種類型的薄膜。
真空鍍膜是在真空中將金屬或非金屬、氣體等材料利用濺射、蒸發(fā)或離子鍍等技術,形成薄膜的一種表面處理過程。真空鍍膜表面的清洗非常重要,直接影響電鍍產(chǎn)品的質(zhì)量。在進入鍍膜室之前,工件須在電鍍前仔細清洗。真空鍍膜加工膜層牢固、致密性好、抗腐蝕性強,膜厚均勻?;瘜W氣相沉積鍍膜
在真空中制備膜層,包括鍍制晶態(tài)的金屬、半導體、絕緣體等單質(zhì)或化合物膜。化學氣相沉積鍍膜