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真空泵的前級(jí)壓強(qiáng)
1、真空泵的前級(jí)壓強(qiáng) PA是真空泵的前級(jí)壓強(qiáng)單位,它是指排氣壓強(qiáng)低于一個(gè)大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。
2、真空泵的前級(jí)壓強(qiáng),它是指超過(guò)了能使泵損壞的前級(jí)壓強(qiáng)。真空泵口前級(jí)壓強(qiáng)單位是PA。
3、真空泵的工作壓強(qiáng)是指對(duì)應(yīng)抽氣量的入口壓強(qiáng)。在此壓強(qiáng)下,真空泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。真空泵的工作壓強(qiáng)的單位是PA,
螺桿真空泵的原理
螺桿泵是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng),利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí),氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)(柱形等螺距)進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng),但無(wú)壓縮,只有螺桿末端的螺旋結(jié)構(gòu)對(duì)氣體有壓縮作用。螺桿的各級(jí)間可形成壓力梯度,以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對(duì)泵的性能有很大影響。在設(shè)計(jì)螺桿各部的間隙時(shí),要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境(如抽除含粉塵氣體等)。
真空泵選型
真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)ya有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。
真空泵的技術(shù)術(shù)語(yǔ)
真空泵除主要特性,極限壓力,流量和抽氣速率之外,尚有一些名詞術(shù)語(yǔ)表達(dá)泵的有關(guān)性能和參數(shù)。
1、啟動(dòng)壓力。泵無(wú)損壞啟動(dòng)并有抽氣作用時(shí)的壓力。
2、前級(jí)壓力。排氣壓力低于101325Pa的真空泵的出口壓力。
3、壓縮比。泵對(duì)給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。
4、何氏系數(shù)。泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽氣速率與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽氣速率之比。