用于CMP的拋光墊必須具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性(耐腐蝕性)、親水性以及機(jī)械力學(xué)特性。拋光墊通常可分為硬質(zhì)和軟質(zhì)(彈性、粘彈性)兩種。

硬質(zhì)拋光墊可較好地保證工件表面的平面度

軟質(zhì)拋光墊可獲得加工變質(zhì)層和表面粗糙度都很小的拋光表面

用于CMP過(guò)程的硬質(zhì)拋光墊有各種粗布?jí)|、纖維織物墊、聚乙烯墊等,軟質(zhì)拋光墊主要有聚氨酯墊、細(xì)毛氈墊、各種絨毛布?jí)|等。拋光皮

為滿足芯片微型化、高密度化、高速化、高數(shù)字化和系統(tǒng)集成化的要求，對(duì)芯片直徑、平坦化、線寬和金屬互連層數(shù)提出了更高要求，這也對(duì)晶片的精密加工提出了更高要求。

半導(dǎo)體晶圓(芯片)加工工藝流程如圖1所示。

由于大規(guī)模集成電路(ULSI)向高度集成和多層布線發(fā)展，化學(xué)機(jī)械拋光、平坦化已成為集成電路制造不可缺少的關(guān)鍵工藝。它不僅是硅晶圓加工中終獲得納米光滑、無(wú)損傷表面的有效方法，也是芯片多層布線中的層間局域平坦化方法。

氧化鋁(Al2O3)，工業(yè)Al2O3是由鋁礬土(Al2O3?3H2O)和硬水鋁石制備的，對(duì)于純度要求高的Al2O3，一般用化學(xué)方法制備。氧化鋁俗稱剛玉，其摩氏硬度表位列第9，具有很大的硬度。又因有六角柱體的晶格結(jié)構(gòu)，十分適合再研磨材料。氧化鋁產(chǎn)量較大，且相對(duì)比鉆石更低廉的價(jià)錢(qián)。所以氧化鋁它成為研磨和拋光的好材料。