全球氦氣緊張狀況,特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域

全球氦氣緊張狀況，特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的性和準(zhǔn)確性。半導(dǎo)體照明是正處于方興未艾的產(chǎn)業(yè)，隨著化合物半導(dǎo)體市場(chǎng)的擴(kuò)展，特種氣體的需求呈現(xiàn)更大的增長(zhǎng)，外延生長(zhǎng)需要大量的超純?cè)春瓦^程氣體。

排氣分析儀應(yīng)進(jìn)行低濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體檢查

通過以上內(nèi)容可以看出，對(duì)排氣分析儀應(yīng)進(jìn)行低濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體檢查。若檢查不通過，則使用高濃度氣體標(biāo)定，然后用低氣檢查，直到滿足要求為止。這個(gè)過程都叫單點(diǎn)檢查。就是說低點(diǎn)不合格，還有機(jī)會(huì)，不一定非要做五點(diǎn)檢查，只有當(dāng)單點(diǎn)檢查不通過后，才必須做五點(diǎn)檢查。這樣而言五點(diǎn)氣濃度中的，中低點(diǎn)和中高點(diǎn)氣體可以暫時(shí)不配或幾個(gè)機(jī)構(gòu)共配。

高純氦氣是怎么樣的氣體呢?

（7）在亞微米級(jí)集成電路生產(chǎn)中，要求提供10-9級(jí)高純氣體。為了保證結(jié)束氣體處理設(shè)備的氣體純度，應(yīng)提高氣體中的雜質(zhì)含量（包含塵粒）控制在規(guī)定值內(nèi)，一般在設(shè)備前設(shè)置終端凈化設(shè)備或終端高精度氣體過濾器。每種氣體都有自身的能量，有的是對(duì)人們有利的，但有的氣體確是對(duì)人們有害的，平?？吹碾娨晞‰娪?，諜戰(zhàn)的那種，很多里面都會(huì)有這些風(fēng)險(xiǎn)氣體，可見，東西都要用對(duì)當(dāng)?shù)?，這樣才干發(fā)揮作用，那么高純氦氣是怎么樣的一種氣體呢？關(guān)于它的注意事項(xiàng)又是什么呢？

高純?nèi)細(xì)夤芫W(wǎng)不宜過大或過長(zhǎng),宜選用不封閉的環(huán)狀管道

（3）依據(jù)燃?xì)庠O(shè)備的散布情況，高純?nèi)細(xì)夤芫W(wǎng)不宜過大或過長(zhǎng)，宜選用不封閉的環(huán)狀管道，在系統(tǒng)結(jié)束接連排放少量燃?xì)?，使管網(wǎng)中一直有高純度氣體循環(huán)，不會(huì)因“死區(qū)”而構(gòu)成高純度氣體污染。（4）應(yīng)減少不流動(dòng)氣體在管道中的“死區(qū)”，且不應(yīng)是盲管，在儲(chǔ)氣罐和氣體設(shè)備之間應(yīng)設(shè)置吹掃閥控制設(shè)備和控制設(shè)備，用于控制吹掃閥的開關(guān)次序和系統(tǒng)，以保證供氣系統(tǒng)的安全，可靠運(yùn)轉(zhuǎn)，防止“死區(qū)”停留污染物構(gòu)成，降低氣體純度。