潔凈室工程施工的內(nèi)容

由于各類潔凈室的用途不同，潔凈室生產(chǎn)的產(chǎn)品也不同，對(duì)空氣潔凈度的要求也不同，因此各類潔凈室的工程建設(shè)內(nèi)容也存在一定的差異。1、潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。對(duì)微電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室來(lái)說(shuō),其潔凈室的施工內(nèi)容（不包括廠房主體結(jié)構(gòu)施工,下同）主要有：食品工廠潔凈室建筑裝飾（含回風(fēng)地板等）施工,凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風(fēng)管、過(guò)濾器的施工安裝,高純水系統(tǒng)及其管線的安裝,高純氣體系統(tǒng)（含特種氣體供應(yīng)等）及其管線安裝;化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)及其管線的安裝,各種排風(fēng)和排氣系統(tǒng)及其處理設(shè)備的安裝,消防安全報(bào)警系統(tǒng)及其控制設(shè)備的安裝,變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝,照明系統(tǒng)及燈具的安裝,防微振裝置的安裝,生產(chǎn)工藝設(shè)備及其配管、配線的安裝等。

潔凈室工藝標(biāo)準(zhǔn)

潔凈室要達(dá)到潔凈等級(jí)，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護(hù)管理等。其中空氣潔凈措施是實(shí)現(xiàn)潔凈等級(jí)的根本保證。就空氣潔凈而言，主要有以下幾項(xiàng)具體措施：

（1）對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用過(guò)濾器（潔凈級(jí)別低時(shí)）作為終端過(guò)濾器，對(duì)進(jìn)入潔凈室的空氣，進(jìn)行一級(jí)過(guò)濾。為保護(hù)終端過(guò)濾器和延長(zhǎng)其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾。

消聲器式消聲部件的用材應(yīng)能耐腐蝕、不吸潮、不積塵、不產(chǎn)塵，其填充料不允許使用玻璃纖維及其制品。找到過(guò)濾器和機(jī)組部件泄漏的方法，即使用氣溶膠光度計(jì)或光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器以相互重疊的掃描區(qū)域掃描通過(guò)測(cè)試區(qū)。手術(shù)室室凈化測(cè)試項(xiàng)目為：靜壓差、送風(fēng)量、新風(fēng)量、溫度、相對(duì)濕度、噪聲、潔凈度、照度、含菌濃度。在電子工業(yè)中的微電子產(chǎn)品或一些電子器件產(chǎn)品生產(chǎn)中需要一個(gè)房間或一條生產(chǎn)線，甚至數(shù)條生產(chǎn)線的主要工序均需設(shè)置在嚴(yán)于5級(jí)的潔凈室內(nèi)，才能達(dá)到產(chǎn)品生產(chǎn)的要求。