凈化工程 

凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱為凈化工程。

亂流潔凈室

亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來(lái)流到出流（從送風(fēng)口到回風(fēng)口）之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以，送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來(lái)越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動(dòng)，將會(huì)彼此撞擊，將有回流、旋渦產(chǎn)生。靜電場(chǎng)中的陰極線在高壓靜電的作用下，產(chǎn)生電暈放電，電暈層中產(chǎn)生大量的負(fù)離子，負(fù)離子在靜電場(chǎng)的作用下，不斷地向陽(yáng)極運(yùn)動(dòng)。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是：突變流；非均勻流。

還有一個(gè)值得注意的問(wèn)題是，近些年來(lái)我國(guó)南方如佛山、廣州以及華東的上海、蘇州等地冬季室外空氣相對(duì)濕度較“規(guī)范”給出的室外空調(diào)計(jì)算相對(duì)濕度要低，例如：冬季室外計(jì)算相對(duì)濕度佛山無(wú)塵室、廣州均為70%，上海和蘇州為75%，而這些年實(shí)測(cè)的室外相對(duì)濕度有時(shí)只有30%左右，因此，建起來(lái)運(yùn)行的潔凈室的加濕量不足，室內(nèi)相對(duì)濕度偏低，達(dá)不到設(shè)計(jì)要求。有的工廠為了簡(jiǎn)便和省錢，在原空調(diào)器內(nèi)增加濕膜或噴霧進(jìn)行加濕以加大加濕量。但是，事與愿違，不但加不進(jìn)去濕量而且加進(jìn)去的還會(huì)很快飽和變?yōu)槟Y(jié)水析出來(lái)，而達(dá)不到加濕目的。就象磁力一樣，所有的分子之間都具有相互引力缺點(diǎn)：普通活性炭并不能吸附所有的有毒氣體，效率較低、易脫附。因?yàn)?，濕膜和高壓噴霧屬等焓加濕過(guò)程，加濕前的空調(diào)空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達(dá)到加濕目的。如果不進(jìn)行加熱是不可行的。

   

潔凈廠房和周圍輔助性站房?jī)?nèi)有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備（包括水泵等）及其通往潔凈室的管道，應(yīng)采取積極隔振措施。

　對(duì)潔凈廠房?jī)?nèi)外各類振源，應(yīng)測(cè)定其對(duì)潔凈廠房的綜合振動(dòng)影響。如受條件限制，也可根據(jù)經(jīng)驗(yàn)對(duì)綜合振動(dòng)影響進(jìn)行評(píng)價(jià)。并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表的允許環(huán)境振動(dòng)值進(jìn)行比較，以確定對(duì)其采取必要的田振措施。

　　精密設(shè)備、精密儀器儀表的隔振措施，應(yīng)考慮減少發(fā)塵量、保持潔凈室內(nèi)合理的氣流組織等要求。當(dāng)采用空氣的彈簧隔振臺(tái)座時(shí)，應(yīng)對(duì)氣溫進(jìn)行處理，使其達(dá)到潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)。