真空檢漏

真空檢漏技術(shù)就是用適當(dāng)?shù)姆椒ㄅ袛嗾婵障到y(tǒng)、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術(shù)，相應(yīng)的儀器稱為檢漏儀。在真空系統(tǒng)、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術(shù)確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統(tǒng)、容器、器件中的真空狀態(tài)得以維持。

漏率的大小需進(jìn)行校準(zhǔn)后方能確定。一般采用比較法，即將被檢漏孔與標(biāo)準(zhǔn)漏孔在檢漏儀上進(jìn)行比較，就可得出被檢漏孔的漏率。 檢測真空系統(tǒng)或其零部件的漏孔的方法。對一定的容器進(jìn)行足夠長時(shí)間的抽氣后，容器壓力不再變化，這時(shí)的抽氣量必定與容器的漏氣量和放氣量之和相等，即puSe=qL q0，式中pu為容器的極限壓力，Se為容器排氣口處的有效抽氣速率，qL和q0分別為容器的漏氣量和放氣量。如放氣量少到可以不計(jì)，則平衡式變?yōu)閜uSe=qL，或pu=qL/Se。這說明容器的極限壓力由漏氣量與有效抽氣速率的比值決定。如抽氣速率一定(常數(shù))，要得到低的極限壓力便應(yīng)降低漏氣量，檢漏便是關(guān)鍵的措施。

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器內(nèi)外的壓力差會使氣體通過漏孔從容器的一側(cè)通向大氣側(cè)。漏孔一般很微小，實(shí)際上不能測出漏孔的具體大小，所以漏孔大小都用漏率(在規(guī)定的條件下氣體流過漏孔的流量)來表示。漏孔兩側(cè)存在著壓力差，即可利用氣體流動引起的效應(yīng)來檢漏。為便于檢漏和易于檢測出漏孔的位置，一般盡可能縮小檢測的面積范圍，所以先側(cè)重于對零部件的檢漏。零部件經(jīng)過嚴(yán)格的檢漏，組裝后就可避免漏氣。

氦檢漏設(shè)備的注意事項(xiàng)

深圳銳誠真空專業(yè)生產(chǎn)、銷售氦檢漏設(shè)備，以下信息由深圳銳誠真空為您提供。

1.設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測試，測試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。

2.若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細(xì)管的泄漏而影響測試結(jié)果的真實(shí)性。

3.因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應(yīng)依照由下而上， 由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。

4.檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸槍，防止因儀器長時(shí)間清除不掉氦影響而延誤測試。

如何選擇真空檢漏儀

一．對檢漏方法的一般要求

1.檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；

2.反應(yīng)時(shí)間短，可以提高工作效率；

3.能定位、定量，即不經(jīng)能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；

4.能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染；

5.穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時(shí)間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠；

6.所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；

7.檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測到，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費(fèi)用；

8.檢漏時(shí)潔凈無油，滿足一些特殊的要求

二．選擇真空檢漏儀檢漏方法的原則

1.主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個(gè)設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個(gè)單個(gè)漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級。如一個(gè)設(shè)備的允許漏率為10-11w,而必須選用的檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W；

2.根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行，經(jīng)濟(jì)實(shí)用。

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檢漏儀的保養(yǎng)注意事項(xiàng)

1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時(shí)的開機(jī)時(shí)間

2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。

3.適時(shí)對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。

4.檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）

5.禁止任何外來物掉在或?yàn)⒃跈z漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦檢漏儀為精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護(hù)工程師，才能使用此儀器。

6.使用時(shí)，注意觀察儀器的運(yùn)行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運(yùn)行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。