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所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。頭罩材質(zhì)為無塵紙(或無纖紙)制成,帽子材質(zhì)則與潔凈衣同,二者在穿戴使用時,除了只露出眼睛或臉表面部分外,其他部分均須包覆,在頭部部分連接上衣處也必須完全蓋住,不能留有空隙,頭發(fā)亦不能露出來。 無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時,其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。
(2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室,末級過濾器滿布率100%時,對大的系統(tǒng)采用FFU,當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。
(3)對潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室,末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多,但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的,因此當(dāng)前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時,采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。
清潔室內(nèi)用品除了進(jìn)出潔凈室用的潔凈衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外,尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運(yùn)車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會變質(zhì)或發(fā)塵者為基本條件,且其布料為不燃、不起毛,其織法或布料組織不易通過污染物和不易附著污染物材質(zhì),另外經(jīng)過摩擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常,洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。生物無塵室主要控制有生命微粒與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。頭罩材質(zhì)為無塵紙(或無纖紙)制成,帽子材質(zhì)則與潔凈衣同,二者在穿戴使用時,除了只露出眼睛或臉表面部分外,其他部分均須包覆,在頭部部分連接上衣處也必須完全蓋住,不能留有空隙,頭發(fā)亦不能露出來。