氣體管道安裝

在實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)領(lǐng)域中，實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)的規(guī)劃設(shè)計(jì)是相當(dāng)重要的。不僅是給試驗(yàn)操作人員一個(gè)良好的工作環(huán)境，更加是對(duì)試驗(yàn)人員的人身安全的一個(gè)保障。氣體管道安裝聯(lián)接方法管子、管子聯(lián)接件、閥門(mén)和設(shè)備上的進(jìn)出接管間的聯(lián)接方法，由氣體的性質(zhì)、壓力和溫度以及管子的材質(zhì)、尺寸和安裝場(chǎng)所等因素決定，主要有螺紋聯(lián)接、法蘭聯(lián)接、承插聯(lián)接和焊接等四種方法。所以在實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)之初我們就應(yīng)該把供氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)規(guī)范考慮進(jìn)去。相應(yīng)等級(jí)的實(shí)驗(yàn)室就應(yīng)該有相應(yīng)的設(shè)計(jì)規(guī)范，這樣才能完i美的設(shè)計(jì)出一個(gè)利于工作而保證安全的實(shí)驗(yàn)室。

一、氣瓶間及氣瓶的安全規(guī)范

（1）氣瓶應(yīng)專(zhuān)瓶，不能隨意改裝其它種類(lèi)的氣體。

（2）氣瓶室嚴(yán)禁靠近火源、熱源和有腐蝕性的環(huán)境。

（3）氣瓶室必須使用防爆開(kāi)關(guān)和燈具，周?chē)箘?dòng)用明火。

（4）氣瓶室應(yīng)有通風(fēng)設(shè)備，保持陰涼，氣瓶室頂部應(yīng)該留有泄流孔防止易i燃?xì)怏w的聚集。

（5）空瓶與實(shí)瓶分區(qū)放置，氣瓶室易i燃易i爆氣瓶應(yīng)該與助燃?xì)馄扛綦x。

（6）瓶閥、接管螺絲和減壓閥等附件完好齊全，無(wú)漏氣、滑絲、表針?biāo)蓜?dòng)等危險(xiǎn)情況，各類(lèi)氣壓表一般不得混用。

（7）氣瓶在儲(chǔ)存、使用時(shí)必須直立放置，工作地點(diǎn)不固定且移動(dòng)頻繁時(shí)，應(yīng)固定在手推車(chē)上，防止傾倒，嚴(yán)禁臥放使用。

（8）氣瓶嚴(yán)禁靠近火源、熱源和電氣設(shè)備，與明火距離不少于10m，氧氣瓶和乙i炔氣瓶同時(shí)使用時(shí)，不能放在一起。

（9）使用后的空瓶，應(yīng)移至空瓶存放區(qū)，并加上空瓶的標(biāo)示，嚴(yán)禁空瓶與實(shí)瓶混存。

（10）氣瓶中氣體不可用盡，必須保持一定余壓。

（11 ）氣瓶須定期檢驗(yàn)，不得超過(guò)使用氧氣瓶、乙i炔氣瓶，液化石油i氣瓶的檢驗(yàn)周期為3年、氮?dú)馄康臋z驗(yàn)周期為5年。

（12）氣瓶應(yīng)放在主體建筑物之外的氣瓶存放間。對(duì)日用氣量不超過(guò)一瓶的氣體，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)可放置一個(gè)該種氣體的氣瓶，但氣瓶應(yīng)有安全防護(hù)設(shè)施。

（13）氫氣和氮?dú)獾臍馄看娣砰g應(yīng)有每小時(shí)不小于三次換氣的通風(fēng)措施。

氣體管道工程泄漏檢查的方法有哪些？

氣體管道(gas pipeline)包括控制閥門(mén)、過(guò)濾器、減壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線(xiàn)分析儀等，宜集中設(shè)在氣體入口室。

Ai級(jí)試漏

對(duì)氣路嚴(yán)重泄漏的粗略觀(guān)察。通常在氣源打開(kāi)并穩(wěn)定之后，不應(yīng)聽(tīng)到氣路流經(jīng)的各管路及閥件接頭處有絲絲的跑氣聲，如聽(tīng)到明顯的漏氣聲，說(shuō)明系統(tǒng)有大漏!必須依據(jù)漏氣聲，追查出泄漏處，并加以排除。引起系統(tǒng)大漏的常見(jiàn)原因是：氣路接頭沒(méi)上緊，氣路中管路開(kāi)裂及沒(méi)加合適的墊片等。查找氣路的嚴(yán)重泄漏，也可在流 路的流量開(kāi)到頂值時(shí)，用肥皂水在各接頭逐步測(cè)試有無(wú)氣泡出現(xiàn)而加以證實(shí)。（6）瓶閥、接管螺絲和減壓閥等附件完好齊全，無(wú)漏氣、滑絲、表針?biāo)蓜?dòng)等危險(xiǎn)情況，各類(lèi)氣壓表一般不得混用。

B級(jí)試漏

對(duì)氣路中輕微漏氣的檢查。方法是堵住氣路出口，觀(guān)察氣路中流量計(jì)內(nèi)的轉(zhuǎn)子。如果能緩緩下降為零，即可認(rèn)為此氣路B級(jí)試漏合格。如轉(zhuǎn)子不能降到零，可用肥皂水在各接頭處仔細(xì)觀(guān)察。直到找到泄漏處為止。

C級(jí)試漏

對(duì)氣路中極i小漏氣的檢查。方法是堵住氣路出口，觀(guān)察系統(tǒng)壓力表，不得在半小時(shí)之內(nèi)有5kPa(相當(dāng)于0.05kgf/cm2)以上的下降。此時(shí)系統(tǒng)壓力應(yīng)在0.25MPa(相當(dāng)于2.5kgf/cm2)以上。（11）氣瓶須定期檢驗(yàn)，不得超過(guò)使用氧氣瓶、乙i炔氣瓶，液化石油i氣瓶的檢驗(yàn)周期為3年、氮?dú)馄康臋z驗(yàn)周期為5年。必要時(shí)可在系統(tǒng)出口處外接一個(gè)0.5級(jí)標(biāo)準(zhǔn)壓力表來(lái)讀取壓力變化數(shù)。

在證實(shí)氣路系統(tǒng)有泄漏時(shí)，可用分段堵住或關(guān)閉氣路的方法來(lái)縮小漏氣發(fā)生的范圍。絕大多數(shù)的漏氣點(diǎn)都發(fā)生于氣路接頭處，而氣路閥件內(nèi)部的泄漏也時(shí)有發(fā)生，至于管路中間的泄漏，除了急轉(zhuǎn)彎處以外是很少見(jiàn)的。

高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過(guò)管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到工藝對(duì)氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。為了保證管道的強(qiáng)度和剛度，必須設(shè)置各種支(吊)架，如活動(dòng)支架、固定支架、導(dǎo)向支架和彈簧支架等。

管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級(jí)的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過(guò)光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。聯(lián)接時(shí)根據(jù)氣體的性質(zhì)、壓力和溫度選用不同的法蘭和密封墊片，利用螺栓夾緊墊片保持密封。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。