氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用

氦質(zhì)譜檢漏儀的行業(yè)應(yīng)用，KM6空間環(huán)模裝置設(shè)備龐大，主真空室直徑12m、高22m，另外有輔助真空室和載人艙等。容積3500m3，分系統(tǒng)多，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，各種接口焊縫相加有幾千米長，采用氦質(zhì)譜檢漏儀負(fù)壓檢漏，每條焊縫由檢漏盒密封，配以鋪助抽氣系統(tǒng)將盒內(nèi)抽低真空后，充入一定壓力氦氣，關(guān)閉預(yù)抽閥，開啟檢漏閥。由于盒內(nèi)氦濃度較高，相對(duì)檢漏儀又有一定壓力，因此有效提高了檢漏靈敏度。航天工業(yè)中，各類閥門、電子元器件，傳感器等等都在廣泛應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀及其檢漏技術(shù)。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是什么？

檢漏儀主要的目的是檢查一個(gè)真空腔體各個(gè)密封處是否有泄漏、漏氣的地方。在這個(gè)密封腔體內(nèi)充滿氦氣，用質(zhì)譜檢漏儀在不腔體外，不同部位檢測(cè)，如果密封存在問題，則有氦氣泄漏，被質(zhì)譜儀檢測(cè)到。質(zhì)譜檢漏儀是一種簡易的質(zhì)譜儀，對(duì)分辨率和檢測(cè)的質(zhì)量范圍要求很低，但對(duì)靈敏度要求較高。其實(shí)各個(gè)種類的質(zhì)譜儀都可用來作為檢漏質(zhì)譜儀。

    

氦質(zhì)譜檢漏儀示蹤氣體選擇

對(duì)示蹤氣體的要求：氦質(zhì)譜檢漏儀都用氦氣(He)作為示蹤氣體，也有用氫氣(H2)作為示蹤氣體的質(zhì)譜檢漏儀器。

氫和氦都是比較理想的示蹤氣體：空氣中的含量少，質(zhì)量輕，運(yùn)動(dòng)速度快，同等條件下，直線運(yùn)動(dòng)距離長。實(shí)際使用中，也相對(duì)比較容易獲取，可以大量使用。但氫氣在使用中有一定的安全問題，所以實(shí)際大部分檢漏使用的是氦氣。質(zhì)譜檢漏儀器示蹤氣體一般具有以下特點(diǎn)：

1、無害，不能對(duì)人體或環(huán)境造成傷害。

2、質(zhì)量輕，惰性氣體，能穿透微小細(xì)縫。

3、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)起化學(xué)反應(yīng)。

4、Z好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。

真空法氦質(zhì)譜檢漏的優(yōu)缺點(diǎn)

真空法的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3123-2000《氦質(zhì)譜真空檢漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗(yàn)》，主要應(yīng)用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動(dòng)部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設(shè)備等。

真空法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，可以準(zhǔn)確定位，能實(shí)現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

真空法的缺點(diǎn)是只能實(shí)現(xiàn)一個(gè)大氣壓差的漏率檢測(cè)，不能準(zhǔn)確反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實(shí)泄漏狀態(tài)。