具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小?，F(xiàn)在我們國家的凈化工程已經(jīng)在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了，除了專業(yè)人士以外，其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大，時(shí)候普通寫字樓的20倍，比美國更發(fā)達(dá)國家高出了15%。看到這些令人心驚的數(shù)字，我們國家的科學(xué)家們從節(jié)能的角度出發(fā)從根本上出出發(fā)，設(shè)計(jì)出能夠節(jié)省的相關(guān)設(shè)備。排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等，凈化車間設(shè)計(jì)時(shí)，要根據(jù)實(shí)際情況選擇。

10級(jí)：主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級(jí)，并且我國半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中，在未來對(duì)潔凈度的要求更加高。1000級(jí) 一般只對(duì)塵埃濃度做要求，用于光學(xué)器件，儀器等高精儀器等10000級(jí)，用于液壓設(shè)備的生產(chǎn)，和一些食品飲料的生產(chǎn)。100000級(jí)，這個(gè)級(jí)別比較的低，對(duì)凈化度要求不是很高，主要在印刷廠，包裝廠等。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。

地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，要選用防靜電型。送回風(fēng)管道一般用鍍鋅鋼板，不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應(yīng)選用凈化車間燈具。凈化工程的等級(jí)劃分比較的嚴(yán)格，一般按照7個(gè)等級(jí)進(jìn)行的劃分，分別是1級(jí)，10級(jí)，100級(jí)，1000級(jí)，10000級(jí)，100000，1000000級(jí)，凈化安全要求是根據(jù)等級(jí)來實(shí)施的，凈化工程等級(jí)數(shù)越小，級(jí)別是越高的，其含塵量越少，排名是靠前的。我們國家的空氣分子控制等的技術(shù)正在朝有利的方向發(fā)展，這項(xiàng)技術(shù)原先是由日本發(fā)展起來的，現(xiàn)在已經(jīng)受到了全世界的關(guān)注和認(rèn)可，在我們國家，這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)受到了相關(guān)行業(yè)的重視并且投入研發(fā)，相信在不久的未來，我們國家的相關(guān)科研人員一定會(huì)在這個(gè)領(lǐng)域取得讓人滿意的成績，為我們國家的凈化工程行業(yè)做出貢獻(xiàn)。

1級(jí)：主要應(yīng)用于電子工業(yè)，這是目前對(duì)凈化工程要求高的環(huán)境，集成電路要求的精度要達(dá)到亞微米。隨著微電子工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域的突飛猛進(jìn)，對(duì)潔凈室的要求越來越高。及時(shí)生產(chǎn)間內(nèi)的例子直徑僅有1微米，也會(huì)使產(chǎn)品壽命受到影響。要說凈化工程在發(fā)展的前景方面，形勢還是非常好的，市場需求更是一片大好。因?yàn)槲覀儑业闹扑?、電子信息等行業(yè)都在迅速發(fā)展，所以對(duì)凈化工程行業(yè)的發(fā)展起到了帶動(dòng)的作用。在這里需要提醒大家的是自從我們國家的方面的改革條文GMP-2010發(fā)布之后，既推動(dòng)了生物和食品化工行業(yè)的發(fā)展，也間接的推動(dòng)了凈化工程行業(yè)的發(fā)展。而且相關(guān)方面的政策支持也讓凈化工程行業(yè)的發(fā)展機(jī)遇推到了。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。