相對濕度在35%－40%之間能夠作為一個令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進(jìn)程，將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時，高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應(yīng)遵守下列基本原則：排除/除去，在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是肯定理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。

凈化室工程共包含下列功用室：主實(shí)驗(yàn)室：該實(shí)驗(yàn)室為主體實(shí)驗(yàn)室，規(guī)劃的凈化等級為三十萬級—十萬級。更衣室：該實(shí)驗(yàn)室用于放置更衣柜，進(jìn)主實(shí)驗(yàn)室之前的替換衣服和鞋運(yùn)用。緩沖室：該實(shí)驗(yàn)室為ICP儀器室的一個緩沖室，用作隔離實(shí)驗(yàn)室外部的塵土充滿到儀器室內(nèi)。風(fēng)淋室：思考更高凈化等級的請求，關(guān)于本實(shí)驗(yàn)室的實(shí)際請求，能夠不選用。