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天津芯片廠車間裝修工程常用指南「華一凈化」

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發(fā)布時間:2021-05-01 12:53  






光學(xué)器件制作工藝的特殊要求

根據(jù)光學(xué)器件制作工藝的特殊要求,需要在超凈室中實驗進行工作。千級凈化車間內(nèi)可以進行涂膠、光刻、蒸發(fā)鍍膜及鍵合,清洗、烘干、電鍍、腐蝕、擴散及研磨等。千級凈化車間各項功能的配備均以滿足各項工藝要求為前提,它具備以下特點:(1) 在潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)隔離口設(shè)有“TJ —1”型單人定時冷熱風(fēng)淋室,它是工作人員進入超凈室的凈化關(guān)口。(2) 在非潔凈區(qū)設(shè)有更衣室,操作人員更換防靜電潔凈服后才可進入超凈室。(3) 設(shè)有室內(nèi)對外器件、物品傳遞窗。


技術(shù)設(shè)備層內(nèi)管線較多,管線安裝及維護時,均需要預(yù)留一定的安裝

技術(shù)設(shè)備層內(nèi)管線較多,管線安裝及維護時,均需要預(yù)留一定的安裝操作空間以及各管線安裝順序。如焊接管道需要考慮焊槍的焊接空間;絲扣連接的管道需要預(yù)留安裝喉鉗操作空間;保溫管道需要預(yù)留保溫層的安裝空間;閥門安裝位置除按設(shè)計及規(guī)范安裝要求外還需要考慮閥門操作手柄的操作位置,以及日后運行時操作的方便性,以方便維護、維修單位的使用,當(dāng)然也需要考慮閥門重新拆裝的方便性。


100級潔凈間的氣流形式

100級潔凈間的氣流形式是層流方式,空氣以均勻的斷面速度沿同一水平方向流動,與流體力學(xué)的層流概念不太相同,垂直方向?qū)恿鞑⑶覀?cè)回風(fēng)。和百級以上潔凈間絮流方式(即空氣以不均勻的速度呈不平行流線流動)相比較,它具有效果完全、運轉(zhuǎn)迅速穩(wěn)定、使得空氣的塵埃粒子含量少,控制管理方便容易等優(yōu)點,但是設(shè)備價格高令一些中小廠家難以承受,維護費用也很高。


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