半導體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。高純氙氣氙氣廠家分享氣體使用時所能接觸的材料，不能有和此種氣體不相容或起反應的材料。按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI（大規(guī)模集成電路）級，VLSI（超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路）級。    

           近幾年來，智研數(shù)據(jù)研究中心隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。在離子室里存在著正電極和負電極，就可以產(chǎn)生電場，當被測的氣體在紫外燈的照射下的時候，就會被離子化，然后形成正離子和負離子，這個時候在電極之間就可以產(chǎn)生電流，接著通過放大輸出信號。據(jù)了解，我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進展：國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束，高純已成功打開國內(nèi)市場。

電子氣體主要包括：、、乙、化氫、硒化氫、、四氟化碳、化三氫、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化鎢、六氟化硫、、磷烷、、、氣、氨氣、電子級等.

其中六氟化硫、電子級、、磷烷使用較多。

氙氣,氣,氮氣是一種非常重要的氣體，它的應用廣泛。第二：用于氣體的估量，它通常含有較少的有關組分，在已知濃度水平時，允許將分析裝置校準到與這個濃度值一致。食品的儲存和運輸需要用到大量的氮氣，來防止食物變質(zhì)另一方面，由于氮氣的良好性質(zhì)，在焊接、機械設備和油田開采中有著重要的應用價值?？梢哉f，氮氣的用途很廣泛，幾乎處處可見。  氮氣（N2）是一種無色、無味、無臭的惰性氣體，密度為1.2506kg/m3，熔點為-209.86℃，沸點為-195.8攝氏度，稍溶于水和乙醇，化學性質(zhì)不活躍，在一個大氣壓下的冷卻和冷凍整個過程中吸收的總能量為382kJ/kg。人在氮氣中作業(yè)時，應該防止窒息致死。

特種氣體可能存在窒息性、腐蝕性、毒性、性等危險，其危害性被不同國家區(qū)域和不同的工業(yè)組織進行了詳細的危險等級分類。

對于一個大規(guī)模生產(chǎn)的電子廠，其儲存和使用的特種氣體數(shù)量之多，可以毫不夸張的被視為擁有“大規(guī)模殺傷性”庫。

任何設計、施工、日常運作中存在的安全隱患都會對工廠、人員和環(huán)境帶來巨大的災難，如何保證特種氣體的安全儲存和使用是每一個生產(chǎn)和使用企業(yè)越來越重視的問題。 高純氙氣  工業(yè)體