把風管固定在支、吊架上之后，才能解開繩索，拆移吊裝機具。水平干管經找平找正并固定在支、吊架上后，就可進行支管的安裝。立管可在水平干管安裝前進行安裝，支架間距不應大于4米，每根立管固定件不應少于二個。風管水平安裝水平度的允許偏差每米不應大于3毫米，總偏差不應大于20毫米；風管垂直安裝垂直度的允許偏差每米不應大于2毫米，總偏差不應大于20毫米。

因此將廢氣以一般風車抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。酸堿性排氣：其主要來源于化學清洗工作站，清洗晶片時所產生之揮發(fā)性氣體，此氣體部分含有濃煙，部分則對呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體，故必須經過水洗中和處理，再由風機排入大氣。

排氣：其主要來源于涂膠、顯影工序和各工序使用清洗過程時所產生，需經有機廢氣處理設備處理后，再由風機排入大氣。

管道、管件的可拆卸接口和調節(jié)機構應安裝在便于操作的位置，不得安裝在墻壁或地板上;與風管連接的氣閥部件應單獨支撐和固定。防火擋板的易熔片應安裝在迎風一側;防火門與墻體之間的距離不得超過200mm。風管板和法蘭外形應符合規(guī)范和設計要求。

吊裝管線時，嚴禁在管線上上下移動;同時，管道內、上表面不得有重物，以防高空墜落物傷人，管道不得承受荷載。