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水平蝕刻機的設(shè)計,應(yīng)充份考慮到金屬產(chǎn)品的厚度,是半蝕刻多還是蝕穿的產(chǎn)品多。產(chǎn)品越薄,對蝕刻的要求也就越高,特別是厚度低于0.2mm以下的產(chǎn)品,由于板材比較薄,雖然是金屬,但還是表現(xiàn)出比較柔軟,容易出來卡板、變形等現(xiàn)像。因此在規(guī)劃設(shè)備時,要預(yù)估我們重點是做薄片還是厚片,要薄片比較多,那么傳動滾輪要比較密一點,而且上下滾輪數(shù)量必須對等。
作為一臺精密蝕刻的蝕刻機,其核心就是噴淋泵,特別是不銹鋼蝕刻,若噴淋泵的壓力小于2.5kg/cm2,蝕刻液對不銹鋼表面作用所產(chǎn)生的黑膜將無法完全清除,導(dǎo)致的結(jié)果就是蝕刻速度慢,半蝕刻蝕刻底紋表面不夠光滑細膩,出現(xiàn)隨機粗糙,幾乎沒有規(guī)律可尋。
其次蝕刻機的均勻性對蝕刻產(chǎn)品影響也比較大。蝕刻機的均勻要可以調(diào)節(jié),那么就要讓噴淋管能實現(xiàn)獨立壓力控制,這樣根據(jù)不同尺寸的產(chǎn)品對壓力進行微調(diào)(大尺寸的板水池效應(yīng)大),從而得到一個較佳的均勻性。通常設(shè)備精度好不好,就是通過蝕刻均勻性好不好來衡量的。
由于蝕刻是一個放熱 的化學(xué)反應(yīng),所以完善冷卻系統(tǒng)是很有必要的,而且冷卻管表面積需要符合滿載的時的放熱量的及時冷卻,溫度不宜超過2度,超過2度以上還不能冷卻到設(shè)定溫度,說明設(shè)計冷卻盤的面積過小,滿載生產(chǎn)時會出現(xiàn)超溫導(dǎo)致必須停止生產(chǎn)。
光刻機和刻蝕機的區(qū)別:
刻蝕相對光刻要容易。光刻機把圖案印上去,然后刻蝕機根據(jù)印上去的圖案刻蝕掉有圖案(或者沒有圖案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂滿光刻膠的晶圓(或者叫硅片)上蓋上事先做好的光刻板,然后用紫外線隔著光刻板對晶圓進行一定時間的照射。原理就是利用紫外線使部分光刻膠變質(zhì),易于腐蝕。
“刻蝕”是光刻后,用腐蝕液將變質(zhì)的那部分光刻膠腐蝕掉(正膠),晶圓表面就顯出半導(dǎo)體器件及其連接的圖形。然后用另一種腐蝕液對晶圓腐蝕,形成半導(dǎo)體器件及其電路。