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實(shí)際曝光bai能量需根據(jù)干膜種類、厚度du或油墨種類/厚度/烘烤時(shí)間確定,正常線路曝光使zhi用能量40 -- 120mj/cm2,油墨曝光能dao量150-500mJ/cm2,具體以曝光尺為準(zhǔn);線路曝光尺5 --8格,油墨的曝光尺做到9--13格。
曝光時(shí)必須抽真空充分,以免曝光不良,一般要求650mmHg以上真空度;
顯影時(shí),顯影點(diǎn)控制在50 --70%以內(nèi),壓力1.5--2.0kg/cm2。
曝光過(guò)度會(huì)導(dǎo)致顯影不凈;曝光能量不足會(huì)導(dǎo)致顯影過(guò)度。
膠片上被極亮度光線照射的區(qū)域,在顯影時(shí)。其上幾乎所有的鹵化銀晶體都將轉(zhuǎn)化成黑色的金屬銀,這些區(qū)域在底片上是黑色的。
膠片上被中等亮度光線照射的區(qū)域,在顯影時(shí),其上絕大多數(shù)(并非全部)鹵化銀晶體將會(huì)轉(zhuǎn)化成黑色的金屬銀,這些區(qū)域在底片上是暗灰色的。
膠片上被很弱光線照射的區(qū)域,在顯影時(shí),其上只有少量鹵化銀晶體轉(zhuǎn)化成黑色的金屬銀,這些區(qū)域在底片上是淺灰色的。
正膠顯影:正性光刻i膠的曝光區(qū)的光刻膠在顯影液中溶解,在光刻膠上形成三維圖形。
負(fù)膠顯影:在負(fù)性光刻膠的非曝光區(qū)的光刻膠在顯影液中溶解,在光刻膠上形成三維圖形。
正膠具有很好的對(duì)比度,所以生成的圖形具有良好的分辨率,其他特性如,臺(tái)階覆蓋好、對(duì)比度好;粘附性差、抗刻蝕能力差、高成本。
負(fù)膠的特性為,具有良好的粘附能力和阻擋作用、感光速度快;顯影時(shí)發(fā)生變形和膨脹,所以只能用于2μm的分辨率。