對安裝施工機械設備的選樣、材料的采用、安裝技術操作要求較高；工藝設備制造精良，并且呈體積小，重量輕的趨勢，且較多設備采用不銹鋼制造；采用的材料品種規(guī)格數(shù)量繁多，工藝管道材質采用不銹鋼較多，其焊接工作有很強的技術性。管道安裝配管時一定要考慮其美觀，盡量靠墻布置。在施工中一定要注意協(xié)調好各工種相互間的關系，確定施工順序，做到互不干擾，確保管道安裝的標高、坡度，便于今后維修的原則。

凈化車間共有五部分組成：

1、隔間

凈化車間隔間分為三大部分,更衣室,千級區(qū)和百級區(qū),更衣室與千級區(qū),千級區(qū)和百級區(qū)均設風淋室(airshower),凈化車間與室外設有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進入凈化車間時,首先要經過風淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車間的灰塵.傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋,達到落塵的效果。

2、風系統(tǒng)風系統(tǒng)流程圖

系統(tǒng)采用的是全新風空調箱 FFU 系統(tǒng)：

<1>全新風空調箱結構

<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風機和過濾器

千級區(qū)過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區(qū)過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%。

凈化車間煙控原理及設計方式

近幾年來，在我國的新竹科學工業(yè)園區(qū)內陸續(xù)發(fā)生了多次半導體廠房火災事故，雖然所造成的人員傷亡不大，但對于財物的損失卻很可觀，其數(shù)目動輒以數(shù)十億乃至百億元新臺幣計算，對業(yè)界所造成的損傷與危害可想而知。高溫濃煙才是造成財損的元兇，但由于土地取得不易，凈化車間廠房多向高樓層發(fā)展，高智慧的技術人力及昂貴的設備機臺集中在廠房內，萬一發(fā)生火災意外，損失將數(shù)十倍于一般工廠。此外，高科技凈化車間廠房內使用許多的性與性氣體，例如SiH4、H2、PH3 等，更增加廠房內的潛在危險，若無適當?shù)膶Σ吲c措施，因此，為了降低火災發(fā)生時人員的傷亡與財物的損失，必須對建筑物進行煙流控制，這一點新加坡已強制規(guī)定執(zhí)行，而在鄰近的日本、大陸或香港也有類似煙流控制法規(guī)，其目的都是在降低火災發(fā)生時，高溫煙流對員工及設備污染的傷害。