其他系統(tǒng)

不只是空調(diào)系統(tǒng),凈化車間系統(tǒng)中還包括有真空,空壓,氮氣,純水,廢水,二氧化碳系統(tǒng),制程排氣系統(tǒng),檢測標準：

1、氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是凈化車間效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流凈化車間工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。

2、系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測。

3、室內(nèi)潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數(shù)器檢測。

4、自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時恢復(fù)其原有潔凈度的能力。

5、氣流流型檢測。

6、噪聲的檢測。

7、照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

8、振動的檢測。振動檢測的目的是為了判明凈化車間各表明的振動幅度。

9、溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測凈化車間的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測凈化車間中心點的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內(nèi)空氣相對溫度，檢測回風(fēng)溫度。

10、總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測。

凈化車間屬于人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(凈化車間)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。

抽風(fēng)式噴漆房的3 個關(guān)鍵就是：

1.通風(fēng)----抽風(fēng)式噴漆房工作的關(guān)鍵

2.過濾----過濾空氣中小顆粒

3.排氣----廢空氣的排出和新空氣的進入

具體的原理是：

風(fēng)（室外空氣）----噴漆房過濾棉----噴漆臺----利用噴漆設(shè)備對噴濺噴漆----排風(fēng)扇（排出產(chǎn)生的漆霧）

這種噴漆房的弱點還是存在：

1.過濾布容易劃傷，灰塵容易進入

2.易將室外不潔凈的空氣進入

3.不環(huán)保，浪費油漆

4.需要經(jīng)常清理，定期清除過濾布上的污垢