大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹

大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括4、3、NF3）、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。試驗(yàn)室供氣現(xiàn)狀目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統(tǒng)完成上述工作。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

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試驗(yàn)室供氣需求

目前大多數(shù)試驗(yàn)室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質(zhì)譜儀、液相色譜質(zhì)譜儀、原子吸收分光光度計(jì)、原子熒光光度計(jì)、等離子發(fā)射光譜儀、電感耦合等離子質(zhì)譜儀等都需要連續(xù)使用高純載氣和燃?xì)?，因此試?yàn)室的安全、連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗(yàn)室中放置的分析儀器。③可燃?xì)怏w的報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置設(shè)電氣連鎖，當(dāng)空氣中的可燃?xì)怏w濃度達(dá)到規(guī)定值時(shí)，事故排風(fēng)裝置自動(dòng)開啟，同時(shí)向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報(bào)警信號(hào)。

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特種氣體使用安全

首先,應(yīng)對(duì)特氣的危害性進(jìn)行分析,通過(guò)本質(zhì)安全設(shè)計(jì),消除安全隱患。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調(diào)節(jié)閥門、壓力表來(lái)指示氣體壓力。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對(duì)特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評(píng)估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測(cè)漏,確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應(yīng)選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統(tǒng)應(yīng)采用焊接系統(tǒng),機(jī)械接頭均應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。排放氣體應(yīng)進(jìn)行安全處理。氣體輸送設(shè)備具有緊急切斷功能。操作應(yīng)遵循標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。

其次,采用監(jiān)測(cè)手段,預(yù)防事故發(fā)生。檢漏靈敏度：也叫有效靈敏度，指檢漏儀器在最1佳工作狀態(tài)下能檢出的最1小漏率。設(shè)置氣體泄漏偵測(cè)器,監(jiān)控氣體泄漏?？扇夹詺怏w應(yīng)設(shè)置高溫或火焰?zhèn)蓽y(cè)器。危險(xiǎn)氣體應(yīng)設(shè)置過(guò)流開關(guān)。特氣系統(tǒng)氣柜應(yīng)進(jìn)行負(fù)壓監(jiān)測(cè),防止抽風(fēng)系統(tǒng)的失效。偵測(cè)系統(tǒng)應(yīng)與報(bào)警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應(yīng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置不間斷電源。