發(fā)塵量無塵室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設備的可考慮通過局部排風排除，不流入室內(nèi)；產(chǎn)品，材料等在運送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般量小，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來自人，占90%左右。5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進，發(fā)塵量也不斷減少。A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。B、樣式：大掛式發(fā)塵量大，上下分裝型次之，全罩型少；C、活動：動作時的發(fā)塵量一般達到靜止時間3-7倍；D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。室內(nèi)維護結構表面發(fā)塵量，以地面為準，大約相應8平方米地面時的表面發(fā)塵量與一個靜止的人的發(fā)塵量相當。

     在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，故應在過程中嚴格控制微粒子的數(shù)量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。

　 無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

    清潔室內(nèi)用品除了進出潔凈室用的潔凈衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0。潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會變質(zhì)或發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不燃、不起毛，其織法或布料組織不易通過污染物和不易附著污染物材質(zhì)，另外經(jīng)過摩擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙（或無纖紙）制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛或臉表面部分外，其他部分均須包覆，在頭部部分連接上衣處也必須完全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。

    潔凈室吸塵器是無塵廠房、車間的強力真空吸塵器，可迅速、便捷、地完成清潔工作。通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。特點：超高過濾效果，可有效的除去對呼吸氣管造成過敏的有害粉塵，減少呼吸疾病的發(fā)生。當你使用吸塵器時，可以減少您清潔廠房的次數(shù)，因為它不會二次擴散灰塵，并可凈化室內(nèi)空氣。有完備的各類吸嘴，任何角落皆可輕松清潔干凈。較強的吸力可吸除更深層的粉塵。設計新穎輕巧，符合人體工學，操作時不會腰酸背痛,減少人體不適。吸塵器可專門針對防塵爆及有毒粉塵，如石棉，鉛等物質(zhì)，美國太空總署特別使用吸塵器清除貨倉內(nèi)的微細粉塵。