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氮氣、高純氮氣使用操作時要注意什么:
拆卸、檢修有氮封的容器蓋板(盲板)、閥門時,必須先關閉進氮閥門,必要時加板隔斷。作業(yè)人員要進入氮封的設備,或探入氮封設備前,必須在辦理作業(yè)許可證的同時,進行第二階段風險評估并經額外授權方可作業(yè).進入人員必須佩帶隔離式空氣防毒面具,二人協(xié)同進行,設備人孔口外要有專人監(jiān)護,未經批準,嚴禁進入和探入。
在打開經過氮氣吹掃置換工藝處理的入孔或其它開口處,為防止未經許可隨意進入可能存在缺氧環(huán)境的受限空間,作業(yè)過程中人員全部離開后,監(jiān)護人員及時恢復設置。
在使用液氮裝軸承時提供良好的自然通風條件。操作人員必須經過專門培訓,嚴格遵守操作規(guī)程。戴防寒手套,防止氣體泄漏到工作場所空氣中。
什么是電子氣體
電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產不可缺少的原材料,它們廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術較為先進的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中,全部工藝步驟超過道,其中大約要使用種不同種類的電子氣體。
電子氣體輸送系統(tǒng)是指為滿足工藝制程的需求,在充分保證工藝和產品安全使用的前提下,將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數、穩(wěn)定地輸送到工藝生產設備的用氣點。根據氣體性質和供應包裝的不同。
氮氣是一種非常重要的氣體,它的應用廣泛。食品的儲存和運輸需要用到大量的氮氣,來防止食物變質;另一方面,由于氮氣的良好性質,在焊接、機械設備和油田開采中有著重要的應用價值??梢哉f,氮氣的用途很廣泛,幾乎處處可見。
氮氣(N2)是一種無色、無味、無臭的惰性氣體,密度為1.2506kg/m3,熔點為-209.86℃,沸點為-195.8攝氏度,稍溶于水和乙醇,化學性質不活躍,在一個大氣壓下的冷卻和冷凍整個過程中吸收的總能量為382kJ/kg。人在氮氣中作業(yè)時,應該防止窒息致死。