無塵烘箱的用途:

和呈無塵烘箱主要用于半導(dǎo)體制造中硅片、鈮酸鋰、 玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的

高溫烘烤，強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到佳溫度控制精度。無塵工業(yè)烤

箱適用于電子液晶顯示、LCD、 CMOS、IS、 醫(yī)l藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。無塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易l燃易

曝物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱——真空干燥箱使用方法

真空箱調(diào)試

在真空度調(diào)試完畢后，可作如下操作：

a.打開真空箱電源,此時電源指示燈應(yīng)亮(6090及6210型應(yīng)再分別打開控溫儀開關(guān))控溫儀通電自檢，PV屏顯示工作室內(nèi)測量溫度，SV屏顯示出廠時設(shè)定的溫度。控溫儀上AT及HEAT等燈應(yīng)亮，表示儀表進入加溫的工作狀態(tài)。

b.修改設(shè)定溫度

1.按一下控溫儀的功能鍵(SET)；PV屏顯示SP字符后，可用鍵頭按鈕進行設(shè)定溫度的修改(6090與6210型對2及3個儀表應(yīng)分別設(shè)定修改，以下類同)。

2.修改完畢后，再按一下SET鍵，PV屏顯示ST字符，設(shè)定定時時間。

如不使用定時功能，則仍然讓其ST=0

3.再按一下SET鍵，使PV屏顯示工作室溫度，SV屏顯示新的設(shè)定溫度。儀表AT及HEAT燈亮，此時儀表重新進入加溫的工作狀態(tài)